张洪雁
- 作品数：7 被引量：5H指数：2
- 供职机构：航空航天部更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信交通运输工程建筑科学更多>>
- 对高纯,洁净气体输送管道施工验收技术的探讨被引量：1
- 1990年
- 前言微电子技术已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础。有了微电子技术的超前发展,便能有效地推动其它部门前进。如各种卫星(广播通讯、农业、气象、资源、侦察、导航卫星等),空间实验站和星际间往返系统等。
- 张洪雁
- 关键词：特种气体
- 氟橡胶与金属硫化粘接用硅烷偶联剂的研究
- 张洪雁谭光志
- 关键词：氟橡胶金属硫化(橡胶)粘结
- 高纯、洁净气体管道的施工技术要求被引量：1
- 1988年
- 高纯、洁净气体输配管道的正确施工方法,对于确保输送气体的纯度和洁净度是至关重要的。作者针对目前施工中一些常见的问题,提出本技术要求,供参考。
- 张洪雁
- 关键词：气体管道高纯施工方法洁净度
- 超高纯气体管路系统
- 1992年
- 着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。
- 张洪雁
- 关键词：管路系统集成电路
- 瓶装高纯气体粒子污染的测定与控制被引量：3
- 1989年
- 前言由于半导体工业的持续发展,已生产出了更密集和更复杂的电路。因此,在工厂生产工艺中,所用材料的洁净度和纯度就变得更为关键了。集成电路生产时,粒子的污染已被认为是唯一最大产品损失率的来源。粒子可以引起电路的断路或短路,改变半导体的电性能,造成晶格结构的损坏。
- T.K.HardyD.D.ChristmanR.H.Shay张洪雁
- 关键词：粒子污染高纯气体
- 高纯气体洁净度的控制标准被引量：3
- 1990年
- 微电子技术已成为当前世界上各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础,只有微电子技术的超前发展,才能更好地推动各生产部门的前进和提高其生产水平,也才有可能使我们的工业生产、科学技术跨入世界先进行列。众所周知,广播、通迅卫星、资源卫星、气象卫星,以及电子对抗系统、宇航系统和空间实验站等,都离不开高度可靠、
- 张洪雁
- 关键词：气体洁净度高纯气体
- 高纯气体输配管路系统污染的防治被引量：2
- 1990年
- 通常讲的高纯气体不仅指气体中含较少的杂质气氛(纯度)和微量水份(干燥度),而且还应包括洁净度,即含污染物粒子的数量。近10年来,纯、净气体不仅仅局限在微电子行业中应用,而且也应用到其它像饮料,生物医学、化学精制。
- 张洪雁
- 关键词：气体输送污染
