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施亚玲
作品数:
7
被引量:2
H指数:1
供职机构:
上海市激光技术研究所
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相关领域:
电子电信
电气工程
机械工程
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合作作者
王又良
上海市激光技术研究所
钟伯强
中国科学院上海硅酸盐研究所
严淑敏
上海市激光技术研究所
徐红
上海市激光技术研究所
苏小荣
上海市激光技术研究所
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施亚玲
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徐红
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严淑敏
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沈玉明
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郁德明
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李连华
传媒
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应用激光
年份
1篇
1991
3篇
1990
2篇
1989
共
7
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YAG激光扫描刻槽机
1990年
本文设计了一种新型扫描激光刻槽机。分析了刻槽机的激光扫描系统和机械传动系统。YAG激光刻槽机每分钟能刻20个电阻,扩阻率500~3000倍;槽宽50μm;阻值精度±0.5%(R<1mΩ),±1%(R>1MΩ)。
王又良
施亚玲
李树森
龚焕明
邵福根
葛海坤
关键词:
电阻
激光
全水冷CW YAG激光器
1990年
本文介绍了一种新颖的全水冷CW YAG激光器:包括腔体和整个水冷循环系统的设计原理,结构特点以及实际工作状况,同时讨论了几种结构形式的冷热交换器。
徐红
李树森
蒋加文
施亚玲
龚焕明
关键词:
YAG激光器
CW
激光器
非晶硅太阳电池背电极的刻蚀方法
用激光-化学腐蚀刻蚀a-si太阳电池背电极,涉及半导体及光电器件。本发明是在背金属电极上涂敷一层极薄的防腐层,用激光按所需背金属电极的图案刻蚀防腐层,然后再用化学腐蚀来除去背电极,从而达到无掩模刻蚀背金属电极的目的。防腐...
钟伯强
施亚玲
肖兵
张秀荣
文献传递
三振镜光扫描系统设计
1990年
根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。
施亚玲
王又良
郁德明
苏小荣
龚焕明
激光—化学腐蚀刻蚀非晶硅(a-Si)太阳电池背电极
用激光—化学腐蚀刻蚀非晶硅太阳电池背电极,涉及半导体及光电器件。本发明是在背金属电极上涂敷一层极薄的防腐层,用激光按所需背金属电极的图案刻蚀防腐层,然后再用化学腐蚀来除去背电极,从而达到无掩模刻蚀背金属电极的目的。防腐层...
钟伯强
施亚玲
肖兵
张秀荣
文献传递
非晶硅太阳电池的激光刻划
1991年
对一台用于非晶硅太阳电池的激光刻划和计算机控制系统进行了理论分析,成功地完成了非晶硅和透明导电膜的刻划工艺。
王又良
施亚玲
苏小荣
严淑敏
徐红
蒋加文
李连华
沈玉明
龚焕明
钟伯强
关键词:
太阳能电池
计算机控制
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