丁继成
- 作品数:7 被引量:3H指数:1
- 供职机构:广东工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域:金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 一种刀具复合涂层的制备方法
- 本发明提供了一种刀具复合涂层的制备方法,具体为:A)将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上,抽真空后开启加热器,再调节电加热器;B)在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体,开启偏压电源对刀具进行辉光清洗;...
- 王启民邹长伟丁继成郑军
- 文献传递
- 基体偏压对反应磁控溅射氧化铝薄膜结构和性能的影响
- 以镍基合金和单晶硅片为基体,采用双极脉冲反应磁控溅射和反应气体闭环控制器(speedflo),在400oC的温度下以高纯度Al靶(99.99%)为靶材,在Ar和O的气体环境下制备具有多晶结构的氧化铝薄膜。利用EDX、XR...
- 耿东森邹长伟丁继成王启民
- 关键词:Γ-AL2O3微结构
- 文献传递
- 大厚度TiAlN涂层力学性能的研究被引量:2
- 2016年
- 采用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了大厚度TiAlN涂层,并对大厚度涂层的力学性能进行了系统的研究。结果表明:梯度增加和循环增加N2流量制备大厚度涂层的厚度分别达到68.79μm和64.48μm,且涂层力学性能良好;大厚度涂层残余应力沿层深的分布,总体趋势从膜基界面向表面逐渐增大,全膜厚平均压应力低于1GPa,表面硬度近2000HV,循环大厚度涂层的膜基结合好于梯度大厚度涂层,而梯度大厚度涂层展现出更低的摩擦系数与磨损率。
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- 关键词:材料表面与界面TIALN电弧离子镀大厚度力学性能
- 基体偏压对反应磁控溅射氧化铝薄膜结构和性能的影响
- 以镍基合金和单晶硅片为基体,采用双极脉冲反应磁控溅射和反应气体闭环控制器(speedflo),在400℃ 的温度下以高纯度Al 靶(99.99%)为靶材,在Ar 和O2 的气体环境下制备具有多晶结构的氧化铝薄膜.利用ED...
- 耿东森邹长伟丁继成王启民
- 关键词:Γ-AL2O3微结构
- 物理气相沉积过程中金属基片控温系统的研制被引量:1
- 2016年
- 研制了一套在物理气相沉积过程中的金属基片控温装置,该装置通过接触导热的方式,可将基片温度在20~350℃之间任意可调,控温误差低于10℃.降温时,通过样品台内循环流动的低温冷却水带走多余的热量,使温度迅速下降;加热时,利用惰性气体排空样品台内冷却水后,通过红热加热管使基片快速升温.实测结果表明,金属基片表面的最大升温速度和降温速度均达到了3℃/s,样品台和金属基片表面温度具有较好的一致性.
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- 关键词:真空装置物理气相沉积
- 一种制备多晶氧化铝硬质涂层的方法
- 本发明公开了一种制备多晶氧化铝硬质涂层的方法。本发明是利用气体反应闭环控制和阳极层离子源辅助磁控溅射沉积制备多晶氧化铝硬质涂层,该方法可以在200-300℃的较低温度下以20-30nm/min的速度沉积出结晶状态良好的γ...
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- 文献传递
- 一种刀具复合涂层的制备方法
- 本发明提供了一种刀具复合涂层的制备方法,具体为:A)将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上,抽真空后开启加热器,再调节电加热器;B)在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体,开启偏压电源对刀具进行辉光清洗;...
- 王启民邹长伟丁继成郑军
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