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王舒阳
作品数:
3
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马蔚
北京大学
文永正
北京大学
于晓梅
北京大学
李淑玉
北京大学
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光学
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红外吸收
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机构
3篇
北京大学
作者
3篇
王舒阳
2篇
于晓梅
2篇
文永正
2篇
马蔚
1篇
李淑玉
年份
2篇
2015
1篇
2014
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3
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高分辨率微悬臂梁红外焦平面阵列的技术研究
红外探测器是广泛应用于军事、工业、医疗、环境等诸多领域的一类器件,根据探测原理的不同可分为光子型探测器和热敏型探测器。光子型探测器基于光电效应,对波长的选择性强、信噪比高、响应速度快,但是需要配备昂贵而笨重的制冷设备。热...
王舒阳
关键词:
微悬臂梁
红外焦平面阵列
高分辨率
可靠性
湿法腐蚀
光读出式焦平面阵列及其制备方法
本发明提供了一种在透明衬底上设计和制备太赫兹与全波段红外焦平面阵列的方法。本发明提供的太赫兹与全波段红外焦平面阵列利用双材料微悬臂梁作为焦平面阵列的像元,采用表面牺牲层工艺制备,光学技术读出焦平面阵列的响应信号。每个双材...
于晓梅
文永正
马蔚
王舒阳
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一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列
本发明公开了一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列的设计和制备方法,特别是关于一种从衬底侧进行可见光读出的全波段红外焦平面阵列。本发明提供的全波段红外焦平面阵列由微悬臂梁像元阵列和支撑微悬臂梁像元阵列的透明衬底组成,...
于晓梅
王舒阳
马蔚
文永正
李淑玉
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