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张荣军

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇喷针
  • 2篇气液
  • 2篇溅射
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇玻璃基
  • 2篇玻璃基板
  • 2篇残液

机构

  • 2篇北京京东方光...

作者

  • 2篇宋瑞涛
  • 2篇张学智
  • 2篇张荣军
  • 2篇陈祥麟

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
去除边缘光刻胶装置
本发明涉及一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。本发明通过改变化学药液的...
宋瑞涛陈祥麟张学智郑铁元王晏酩张荣军苏九端
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去除边缘光刻胶装置
本发明涉及一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。本发明通过改变化学药液的...
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