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王瑞廷

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇竖直
  • 1篇晶片
  • 1篇卡盘
  • 1篇夹持
  • 1篇工艺技术
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体晶片

机构

  • 1篇北京七星华创...

作者

  • 1篇吴仪
  • 1篇王瑞廷
  • 1篇张豹
  • 1篇刘福生

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
盘状物夹持装置
本实用新型属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本实用新型所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋...
刘福生张豹王瑞廷吴仪
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