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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 1篇喷枪
  • 1篇清洁装置
  • 1篇作业过程
  • 1篇吸气
  • 1篇显示器
  • 1篇显示器产品
  • 1篇门禁
  • 1篇灰尘颗粒
  • 1篇基板
  • 1篇基台
  • 1篇集装
  • 1篇半导体
  • 1篇吹气

机构

  • 2篇北京京东方光...

作者

  • 2篇李平福
  • 1篇李嘉鹏
  • 1篇杨光
  • 1篇鲁成祝
  • 1篇沈鹏
  • 1篇胡博
  • 1篇王凤国
  • 1篇陈磊

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种清洁装置
本实用新型公开了一种清洁装置,应用于包括基台和轨道的半导体场景,该清洁装置包括向轨道吹气的喷枪,该喷枪的设置位置为:在与至少一条轨道同侧的基台上,面向轨道的至少一端设置有喷枪;所述装置上还可以设置从轨道吸气的收集器,该收...
王凤国李平福陈磊李嘉鹏胡博
文献传递
集装基板交换装置
本实用新型公开了一种集装基板交换装置。本实用新型提供的集装基板交换装置包括位于所述集装基板交换装置底部的交换平台和位于所述交换平台上的用于固定集装盒的固定装置,还包括门禁单元,所述门禁单元包括封闭板和可自动开合的隔尘门,...
沈鹏李平福杨光鲁成祝
文献传递
共1页<1>
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