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王凯

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 15篇半导体
  • 14篇半导体设备
  • 7篇硅片
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇承载器
  • 4篇叠片
  • 4篇上下位机
  • 4篇通信
  • 4篇通信系统
  • 4篇下位机
  • 3篇异常状态
  • 3篇通信方法
  • 3篇机械手
  • 2篇电传感器
  • 2篇电动
  • 2篇电动机
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动

机构

  • 19篇北京七星华创...

作者

  • 19篇王凯
  • 5篇徐冬
  • 5篇张航
  • 4篇周峰
  • 3篇钟结实
  • 3篇张海轮
  • 2篇杨帅
  • 1篇张云鹏

年份

  • 1篇2018
  • 5篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 6篇2014
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种半导体设备的真空控制系统及真空控制方法
本发明公开了一种半导体设备的真空控制系统，包括抽真空单元和真空调节单元。其中所述抽真空单元包括真空泵，第一管路以及第一开关阀；所述真空泵通过所述第一管路连接至反应腔室，所述第一开关阀设于所述第一管路上。所述真空度调节单元...
张航张海轮王凯慕晓航
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具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法
本发明公开了一种具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法，通过将压力控制器原有的一个采样点增加为两个采样点，其中一个采样点可继续采集工艺管排气端的压力，另一个采样点用于采集承载区域内的压力，并增加在工艺的不同阶...
穆晓航钟结实王凯杨帅
半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统及通信方法，其中所述下位机包括用于接收半导体设备的执行机构的状态反馈信息的反馈状态寄存器；用于对不同类型的状态反馈信息配置优先级的优先级配置模块；用于将所述状态反馈信息发送至上位机...
王凯周峰
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一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法
本发明公开了一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法，通过在传片机械手上设置振动传感器芯片采集传片机械手的抓手与硅片碰撞时产生的振动频率，能够有效地采集到碰撞产生的微小冲击力，并能及时传递碰撞信号，通过机械手控制器对振动...
王凯穆晓航钟结实张云鹏
晶圆位置调节装置
本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单...
张航王凯慕晓航
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晶圆位置调节装置
本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单...
张航王凯慕晓航
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半导体设备承载区域的硅片分布状态组合检测方法及装置
一种半导体设备承载区域的硅片分布状态组合检测方法及装置，在位于硅片组上方的承载器端盖内表面，设置有与端盖中心对称的两条平行滑轨，在轨道的相对位置设置有第一和第二光电传感器组/超声波传感器组；在位于硅片承载器圆周侧边的机械...
徐冬王凯
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半导体设备的硅片承载区域氧含量控制方法及控制装置
本发明公开了一种半导体设备的硅片承载区域氧含量控制方法及控制装置，通过分阶段控制氮气吹入的流量，来达到氧气含量的控制目标，在控制开始时，对硅片承载区域快速吹入氮气，进行气体置换；当氧含量低于设定值后，切换到PID控制方式...
慕晓航张海轮王凯
半导体设备承载区域的硅片分布状态光电扫描方法及装置
一种半导体设备承载区域的硅片分布状态光电扫描方法及装置，其在位于硅片承载器圆周侧边的机械手上U形端部的相对位置，设置有两个互为发射端和接收端的光电传感器，机械手为该光电传感器提供水平和垂直和/或定位的移动，且承载器和机械...
徐冬王凯
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一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法
本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路...
穆晓航钟结实王凯杨帅
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