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任志强
作品数:
2
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供职机构:
北京京东方光电科技有限公司
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合作作者
吴平
北京京东方光电科技有限公司
刘佳
北京京东方光电科技有限公司
肖红玺
北京京东方光电科技有限公司
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2篇
中文专利
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电极
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1篇
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1篇
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1篇
传感器
机构
2篇
北京京东方光...
作者
2篇
任志强
1篇
肖红玺
1篇
刘佳
1篇
吴平
年份
2篇
2013
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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一种干法刻蚀设备
本实用新型公开了一种干法刻蚀设备,Chamber中设置有颜色传感器,颜色传感器位于能与Chamber隔绝的空间中,空间通过活动挡板与Chamber保持封闭或联通;活动挡板连接于外部控制部件,控制部件控制所述活动挡板移动,...
蒋会刚
刘华锋
刘佳
任志强
谢海征
文献传递
一种真空泵入口端管道及真空泵组件
本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道及真空泵组件,涉及真空系统的技术领域,提高了真空泵的使用周期,避免了不必要的设备停产的情况发生。该管道包括:一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管;...
蒋晓纬
吴平
关跃征
肖红玺
任志强
文献传递
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