王海燕
- 作品数:83 被引量:266H指数:10
- 供职机构:郑州大学物理工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金河南省科技攻关计划河南省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电气工程一般工业技术电子电信更多>>
- 用快速光热退火制备多晶硅薄膜的研究被引量:10
- 2005年
- 用等离子体增强型化学气相沉积先得到非晶硅(a Si:H)薄膜,再用卤钨灯照射的方法对其进行快速光热退火(RPTA),得到了多晶硅薄膜。然后,进行XRD衍射谱、暗电导率和拉曼光谱等的测量。结果发现,a Si:H薄膜在RPTA退火中,退火温度在750℃以上,晶化时间需要2min,退火温度在650℃以下,晶化时间则需要2. 5h;晶化后,晶粒的优先取向是(111)晶向;退火温度850℃时,得到的晶粒最大,暗电导率也最大;退火温度越高,晶化程度越好;退火时间越长,晶粒尺寸越大;光子激励在RPTA退火中起着重要作用。
- 张宇翔王海燕陈永生杨仕娥郜小勇卢景霄冯团辉李瑞郭敏
- 关键词:多晶硅薄膜晶粒拉曼光谱
- 稳态条件下体异质结有机太阳能电池的数值分析
- 2013年
- 采用Gummel提出的一种非耦合算法对体异质结有机太阳能电池进行数值模拟.在一维模型上对顶电极与底电极之间距离等间距网格划分及基本方程组差分离散,并采用牛顿迭代法将非线性方程组线性化,求出其数值解,最后仿真验证了算法的正确性.
- 叶会英魏富鹏刘伟申翠丽王海燕
- 关键词:有机太阳能电池牛顿迭代法数值解
- 硅纳米孔柱阵列及其四氧化三铁复合薄膜的湿敏电容特性研究被引量:5
- 2005年
- 报道了硅纳米孔柱阵列 (Si NPA) ,Fe3O4 复合的Si NPA(Fe3O4 Si NPA)两种薄膜材料的制备方法并对其形貌和结构进行了表征 ,研究了其电容湿度传感特性 .结果表明 ,Si NPA ,Fe3O4 Si NPA均为微米 纳米结构复合体系 .当环境相对湿度从 11%上升到 95 %时 ,采用 10 0Hz的信号频率进行测试 ,以Si NPA和Fe3O4 Si NPA为电介质材料制成的湿敏元件的电容增加值分别为起始值的 15 0 0 %和 5 5 0 0 % ;采用 10 0 0Hz的信号频率测试时 ,则分别为起始值的80 0 %和 12 0 0 0 % ,显示出两种材料较高的湿度灵敏性和较强的绝对电容输出信号强度 .同时 ,在升湿和降湿过程中 ,Si NPA ,Fe3O4 Si NPA都具有较快的响应速度 ,其响应时间分别为 15s,5s和 2 0s,15s.文章结合材料的形貌和结构特性对其物理机理进行了分析 .上述结果表明 ,Si NPA无论是直接作为湿度薄膜传感材料还是作为复合薄膜湿度传感材料的衬底都具有很好的前景 .
- 王海燕李新建
- 关键词:硅纳米孔柱阵列四氧化三铁湿敏电容
- 利用快速热退火法制备多晶硅薄膜被引量:12
- 2005年
- 为了制备优质的多晶硅薄膜,该论文研究了非晶硅薄膜的快速热退火(RTA)技术。先利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后把其放入快速热退火炉中进行退火。退火前后的薄膜利用X射线衍射(XRD)仪、Raman光谱仪及扫描电子显微镜(SEM)测试其晶体结构及表面形貌,利用电导率测试设备测试其暗电导率。研究表明退火温度、退火时间以及沉积时的衬底温度对非晶硅薄膜的晶化都有很大的影响。
- 冯团辉卢景霄张宇翔郜小勇杨仕娥李瑞靳锐敏王海燕
- 关键词:多晶硅薄膜太阳能电池晶粒
- 多孔硅中氧、碳、氮行为的研究
- 本文用化学腐蚀法在多晶硅片上制作多孔硅,通过不同的热处理过程,对多孔硅的表面微结构的SEM测量,分析了其表面结构特点。通过SEM、X—EDS、Raman及XPS研究了氧在多孔硅层中的主要热行为。论述了在多孔硅用于太阳能电...
- 王海燕段启亮卢景霄孙晓峰陈泳生冯团辉李瑞
- 关键词:氧沉淀
- 文献传递
- a-Si∶H薄膜的再结晶技术发展概述被引量:6
- 2004年
- 论述了非晶硅薄膜的主要再结晶技术,包括传统的炉子退火、金属诱导晶化、微波诱导晶化、快速热退火和激光晶化。着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景。
- 冯团辉卢景霄张宇翔郜小勇王海燕靳锐敏
- 关键词:激光晶化炉子快速热退火A-SI:H薄膜非晶硅薄膜
- 求解量子力学束缚态能级的一种简单近似法
- 1993年
- 本文给出一种计算量子力学束缚态能级的近似方法,本方法具有物理的迭代意义,在一种理想的收敛情况下等效于一类量子力学变分法,从而给予这类变分法一种物理解释。
- 刘力王海燕
- 关键词:量子力学束缚态迭代法变分法能级
- 大面积多晶硅绒面的制备被引量:17
- 2004年
- 采用酸腐蚀法,在小面积(2 ×2 )多晶硅绒面制作的基础上,成功地在大面积(10 ×10 )多晶硅片表面上制作了绒面。利用扫描电子显微镜(SEM)观察其表面形貌并进行反射谱测试,结果表明腐蚀比较均匀,表面减反射效果较好,加权反射率可以达到5.26%,其减反射效果对入射光波长选择性不明显,远好于工业生产用的SiN减反膜。
- 孙晓峰王海燕卢景霄李维强
- 关键词:多晶硅绒面酸腐蚀
- 在多孔硅上外延硅膜的研究
- 固相晶化(SPC)技术制备太阳电池是值得研究的方向.我们用电化学电解的方法在硅片上制备了多孔硅,在多孔硅上用PECVD设备沉积了非晶硅薄膜,对非晶硅薄膜在550℃进行了固相晶化.用拉曼光谱仪、XRD和扫描电镜等手段对硅薄...
- 郭敏张宇翔李红菊王海燕陈永生杨仕娥郜晓勇李维强卢景霄
- 关键词:多孔硅硅薄膜拉曼光谱仪太阳电池
- 文献传递
- 衬底材料对μc-Si:H薄膜结构特性的影响被引量:5
- 2006年
- 对在不锈钢和玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜进行了拉曼光谱和扫描电子显微(SEM)分析。拉曼分析显示在相同的工艺参数下,玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜的晶化率高于不锈钢衬底上沉积的薄膜,这可能是由于衬底与等离子体之间的电势差不同和衬底表面形貌两方面所致。SEM观察表明玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜由尺寸介于200~100nm的团簇构成。
- 陈永生杨仕娥卢景霄王海燕李瑞
- 关键词:晶化率团簇