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包宇洋

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：交通运输工程建筑科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 4篇微悬臂梁
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇亚微米级
  • 2篇液相检测
  • 2篇生化传感器
  • 2篇疏水
  • 2篇品质因数
  • 2篇亲水
  • 2篇亲水层
  • 2篇微传感器
  • 2篇微颗粒
  • 2篇微米
  • 2篇微米级
  • 2篇微悬臂
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振结构

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇李昕欣
  • 6篇于海涛
  • 6篇包宇洋
  • 4篇许鹏程
  • 2篇王家畴
  • 2篇陈滢

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏...
于海涛许鹏程李昕欣陈滢包宇洋
文献传递
一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法
本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所...
于海涛李昕欣许鹏程王家畴包宇洋
文献传递
一种微传感器、制备及其使用方法
本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓...
李昕欣包宇洋于海涛蔡晟然
文献传递
一种微传感器、制备及其使用方法
本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓...
李昕欣包宇洋于海涛蔡晟然
文献传递
一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法
本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所...
于海涛李昕欣许鹏程王家畴包宇洋
液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏...
于海涛许鹏程李昕欣陈滢包宇洋
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