李东旭
- 作品数：22 被引量：30H指数：4
- 供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺电气工程动力工程及工程热物理更多>>
- 划片机吸盘圆周平整度调整装置
- 一种划片机吸盘圆周平整度调整装置，它包括有调节底座，调节平台，内衬钢板，其技术要点是：所述的内衬钢板设置在圆形调节平台与调节底座之间，在内衬钢板与调节底座之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块，每个顶块依次通过弹簧、滑块与设...
- 孙震张明松白雪峰韩乃波韩龙李东旭郭晓婷叶琳琳唐贵富
- 文献传递
- 红外激光与微水束耦合对准工艺研究
- 2019年
- 红外激光与微水束耦合划切技术是激光划切应用的前沿领域,在硅晶圆、宝石、陶瓷等材料高精度切割方面具有优势,有效地减小了材料的热损伤和熔渣残留。红外激光束与微水束的耦合对准是研究的关键技术。为保证微水束光纤与激光光束耦合的效果,本文设计了高精度三维耦合对准调整结构,结构主要由准直聚焦光路系统、微孔CCD观测系统、二维微位移平台、耦合装置组成;研究了汇聚激光焦平面与微水束起始端(喷口元件)共面调整的关键工艺和激光光束与喷口元件对准的关键工艺;提出了借助屏幕十字线实现两次对准的工艺方法。经试验验证,微水束耦合激光长度稳定,质量良好,可实现对硅基衬底晶圆等材料的高效无损、高精密划切。
- 蒋兴桥马岩荣宇李东旭
- 关键词：激光
- 划片机吸盘圆周平整度调整装置
- 一种划片机吸盘圆周平整度调节装置，它包括有调节底座，调节平台，内衬钢板，其技术要点是：所述的内衬钢板设置在圆形调节平台与调节底座之间，在内衬钢板与调节底座之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块，每个顶块依次通过弹簧、滑块与设...
- 张明松韩乃波郭晓婷李东旭韩龙马岩叶琳琳张聪
- 文献传递
- 划片机搭载机械视觉调整装置
- 一种划片机搭载机械视觉调整装置，该装置包括有安装机座，电子显微镜，其技术要点是：在安装机座上设置有直线导轨，在直线导轨上设置有承载电子显微镜的显微镜安装座及限位卡具，在电子显微镜的侧部还设置有一沿直线导轨行走的调节装置及...
- 张明松马岩韩乃波白雪峰韩龙郭晓婷李东旭唐贵富
- 文献传递
- 光伏电池板清洁技术研究综述被引量：13
- 2016年
- 在光伏发电系统中,电池板表面沉积的灰尘严重影响了光伏发电效率和光伏组件的寿命。针对这一问题,综述分析了国内外相关研究成果,总结了电池板表面积灰机理,着重综述了目前常用的光伏电池板清洁技术:纳米自清洁薄膜、电除尘技术、机械除尘技术,分析出上述清洁技术所存在的不足,最后,提出了今后在光伏电池板清洁技术研究的主要方向。
- 刘锋孙震姚春利马岩肇群李东旭
- 关键词：清洁技术
- 高压水射流表面清洗技术的应用被引量：5
- 2016年
- 介绍了高压水射流清洗技术的特点和水射流效应的原理,同时也关注设备在使用中的经济效益问题。
- 唐贵富李东旭李洋王殿久张明松
- 关键词：高压水射流清洗技术
- 划片机搭载机械视觉调整装置
- 一种划片机搭载机械视觉调整装置，该装置包括有安装机座，电子显微镜，其技术要点是：在安装机座上设置有直线导轨，在直线导轨上设置有承载电子显微镜的显微镜安装座及限位卡具，在电子显微镜的侧部还设置有一沿直线导轨行走的调节装置及...
- 张明松白雪峰韩乃波马岩韩龙郭晓婷李东旭张聪
- 文献传递
- 转角模块对晶圆划切质量的影响因素研究
- 2022年
- 本文主要研究砂轮划片机在切割晶圆的过程中,转角模块的各个参数对晶圆磨削切口质量的影响,通过实验对其进行了系统的工艺分析,并给出了砂轮划片机转角模块对晶圆划切工艺的调整改进方案。结构方面根据原来的转角模块存在的不足进行了改进,改进后的转角模块结构使调节吸盘上表面水平更加方便,砂轮片切割晶圆效果更加精准,减小了划切晶圆的缺陷率。
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- 用于划片机θ转轴调平装置
- 本实用新型属晶圆划片机调平领域，尤其涉及一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板（1）；在所述滑板（1）四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件（2、3）；所述θ转轴调平部件（2、3）上部设有θ转轴基准板（4）；所述θ转轴基...
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- 文献传递
- 一种晶圆芯片的切割方法及其划片机
- 本发明提供了一种晶圆芯片的切割方法及其划片机，该切割方法具体为，采用红外激光器沿着晶圆芯片的切割预定线进行照射，在所述晶圆芯片表面形成向下凹陷的切割轨道；将砂轮片沿着所述切割轨道进行切割，所述划片机可实现上述切割过程，本...
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- 文献传递
