闫清泉
- 作品数：11 被引量：4H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程交通运输工程机械工程更多>>
- 提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置
- 本实用新型公开了一种提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置，轴向往复运动连接件与凸轮系统运动机构固定连接，径向旋转运动连接件与伺服电机驱动机构固定连接，进水支撑管的左右端分别与轴向往复运动连接件和径向旋转运动连接件固定...
- 陈长琦闫清泉王国栋陈晨
- 文献传递
- 等离子体应用中磁控溅射旋转阴极系统的关键技术研究与优化
- 等离子体科学及技术正处于当今科技研究的前沿，其应用涉及国防、航天、能源、化工、电子等相关领域。磁控溅射旋转阴极已被广泛应用于大面积薄膜制备装备及相关工业领域，因国外对其核心技术的封锁，使得国产阴极在生产中暴露出相关低温等...
- 闫清泉
- 关键词：等离子体
- 文献传递
- 旋转磁控溅射阴极布气装置设计及工艺气体分布优化分析
- 近三十年来，旋转磁控溅射阴极广泛应用于大面积薄膜制备领域。实现真空腔室内充入工艺气体的稳定且均匀的分布，对获取膜厚均匀性一致的涂层起着至关重要的作用。本文设计了一种新型的旋转溅射阴极的布气装置，由一个混合气体可多点逸出的...
- 闫清泉陈长琦
- 关键词：磁控溅射
- 单室多极型PECVD设备布气系统设计研究
- 低温等离子体表面沉积是一种新兴的表面处理技术。其主要特点如下:仅作用于材料表面,常常只有几个微米或纳米量级,材料主体性能受到的影响极小;相对于传统的湿式表面处理方法具有清洁环保,节省能源等优势;可以获得一些其他方法所得不...
- 祁松松王国栋唐红军闫清泉黄稳陈晨陈长琦
- 关键词：低温等离子体处理CFD模拟
- 文献传递
- 涡旋压缩机发展概述和选型对比分析被引量：3
- 2015年
- 涡旋压缩机凭借其高效节能、微振低噪的特点,在空调制冷行业应用越来越广泛。首先阐述了涡旋压缩机的工作原理及特点,尔后对国内外涡旋压缩机的发展历史进行了概述,总结了目前涡旋压缩机的发展趋势,最后通过对不同结构的涡旋压缩机的对比分析,为空调制冷系统设计中对压缩机的选型与运用提供了参考。
- 闫清泉
- 关键词：涡旋压缩机
- 磁控溅射旋转阴极的换热计算与流固热耦合分析被引量：1
- 2015年
- 分析了影响旋转阴极换热的因素,提出一种阴极冷却系统的设计方案。基于流体力学、传热学理论,根据整理自实验结果的相似准则和经验公式,应用所设计的旋转阴极换热数学模型进行了水冷系统性能参数计算,并通过有限元模拟的流固热耦合方法分析,数值仿真研究了实际工作状态下的阴极瞬态换热,得到阴极换热状态及温度分布随时间变化的规律,进一步验证了换热数学模型水冷系统性能参数计算结果。这种结合数值计算和有限元仿真的研究思路及方法,可为旋转阴极冷却系统的设计和优化提供理论依据和重要参考。
- 闫清泉王国栋王庆生陈长琦
- 关键词：磁控溅射换热计算有限元分析
- 矩形平面磁控溅射靶磁场的数值模拟与优化
- 磁控溅射技术因其溅射速率高、沉积温度低、能溅射绝缘靶材等优点，被广泛应用于工业生产和科学研究领域。然而磁控溅射技术也有靶材利用率低、溅射过程不稳定、沉积速率低和离化率低等缺点，影响沉积薄膜的品质和生产效率。在实际的经典结...
- 陈晨陈长琦闫清泉
- 关键词：磁控溅射有限元法磁场分布
- 提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置及方法
- 本发明公开了一种提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置及方法，轴向往复运动连接件与凸轮系统运动机构固定连接，径向旋转运动连接件与伺服电机驱动机构固定连接，进水支撑管的左右端分别与轴向往复运动连接件和径向旋转运动连接件固...
- 陈长琦闫清泉王国栋陈晨
- 文献传递
- 用于大面积功能薄膜制备的旋转磁控溅射阴极磁场部件的三维模拟与设计
- 随着工业生产中对大面积功能薄膜制备需求的不断增长,磁控溅射技术在近些年发展迅速,基于此技术的镀膜设备在技术革新和结构优化方面有了长足的进步。旋转磁控溅射阴极作为磁控溅射镀膜设备的核心部件,其磁场部件的设计直接决定着靶材的...
- 闫清泉陈长琦
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置及方法
- 本发明公开了一种提高溅射阴极靶材利用率和镀层均匀性的装置及方法，轴向往复运动连接件与凸轮系统运动机构固定连接，径向旋转运动连接件与伺服电机驱动机构固定连接，进水支撑管的左右端分别与轴向往复运动连接件和径向旋转运动连接件固...
- 陈长琦闫清泉王国栋陈晨
- 文献传递
