郑志宏
- 作品数：14 被引量：31H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划美国国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺医药卫生一般工业技术更多>>
- 低能低剂量注水形成SOI结构材料的研究被引量：1
- 2002年
- 采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料。测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料。在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析。结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关。
- 陈静王湘董业民郑志宏陈猛王曦
- 关键词：SOI结构离子注入
- 离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究被引量：2
- 2005年
- 利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能。实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射的机理。
- 蒋军江炳尧郑志宏任琮欣冯涛王曦柳襄怀邹世昌
- 关键词：铪离子束辅助沉积钼栅极
- CH_4+Ar混合等离子体注入新工艺被引量：1
- 2005年
- 采用CH4+Ar混合等离子体对p-Si(100)进行剂量为5.0×1017cm-2,能量分别为40keV及80keV的碳离子注入,靶温控制在700°C左右;注入后将样品在1250°C的氩气中退火5h。通过红外反射光谱、掠角X-射线衍射以及剖面透射电镜对退火前后的样品进行分析,其结果证明了结晶质量较好的多晶β-SiC不连续埋层的形成。
- 邢玉梅俞跃辉陈可炜郑志宏杨文伟
- 关键词：甲烷等离子体碳化硅离子注入
- 改善人工心脏瓣叶材料血液相容性和使用安全性的方法
- 一种改善人工心脏瓣叶血液相容性和使用安全性的方法,属于生物医用材料表面改性领域。其特征在于或用常规的离子注入或用等离子浸没式离子注入方法在热解碳制成的瓣叶中直接注入N<Sup>+</Sup>,其剂量为2×10<Sup>1...
- 柳襄怀张峰郑志宏王向晖李昌荣王曦
- 文献传递
- 新一代人工心脏瓣膜材料研究
- 柳襄怀张峰王曦郑志宏陈安清王向辉李昌荣蒋振斌俞柳江
- 目的探讨表面改性后的人工心脏瓣膜材料的血液相容性。方法氧化钛（Ti-O）试样薄膜与目前的心脏瓣膜材料热解碳（LTIC）薄膜成对置入动物犬体内。腹主动脉内埋置60天。右心房内埋置17天，60天，100天。改性后Ti-O瓣膜...
- 关键词：
- 关键词：人工心脏瓣膜抗凝血安全性
- 离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向被引量：5
- 2003年
- 采用离子束辅助沉积方法 (IBAD)在Si(111)衬底上沉积了铪薄膜。实验发现 :在铪膜生长时 ,轰击铪膜的Ar+ 离子的能量、入射角度和束流密度对薄膜的晶粒取向有很大的影响。当Ar+ 离子的能量为 5 0 0eV、入射角为 75°、束流密度为 0 .9A/m2 时 ,铪膜为 (110 )择优取向。当束流密度大于 1.2A/m2 时 ,铪膜以 (0 0 2 )、(10 0 )混合晶向为主 ,而与Ar+ 离子的入射角度无关。讨论了铪膜晶粒取向的转变机制 ,认为铪膜晶粒的择优取向 ,不是单纯地取决于基于沟道效应的溅射机制 ,或取决于基于能量极小原理的表面能最小或表面应力最小的面生长较快的机制 ,而是影响薄膜生长的各种因素互相竞争、共同作用 ,在非平衡态条件下表面能极小化的结果。
- 江炳尧任琮欣郑志宏柳襄怀樊会明姚刘聪李玉涛苏小保
- 关键词：晶粒离子束辅助沉积IBAD
- 离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用被引量：5
- 2004年
- 栅电子发射是影响行波管工作性能和制约其使用寿命的主要因素。国内研制的导弹雷达制导用行波管因存在严重的栅电子发射现象,寿命只有70h,不能付诸军事应用。采用离子束增强沉积的方法在栅网表面沉积一层碳膜后,可有效地抑制栅电子发射,使行波管寿命超过了1000h,在军事和航天领域获得了成功应用。报导了低能离子束增强沉积类金刚石薄膜和高能离子束增强沉积类石墨碳膜的制备技术、结构性能及其在抑制栅电子发射中的应用和机理研究的结果。
- 柳襄怀朱宏朱宏任琮欣郑志宏徐静芳
- 关键词：离子束增强沉积碳膜
- 人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究被引量：3
- 2005年
- 心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣膜材料进行表面处理以改善其血液相容性及使用安全性的研究结果.
- 王向晖柳襄怀柳襄怀张峰李昌荣俞柳江郑志宏王曦徐静芳蒋振斌
- 关键词：人工心脏瓣膜生物材料抗凝血性能安全性离子束辅助沉积血液相容性
- 电子束蒸发沉积制备高度晶体取向的CeO_2薄膜被引量：3
- 2004年
- 为了得到CeO2为埋层的新型SOI(SiliconOnInsulator)材料,采用电子束蒸发沉积及后期退火处理的方法制备得到了高度(111)、(311)晶体取向的CeO2薄膜,为进一步外延制备SOI材料打下了良好的基础。同时,从热力学角度就退火对CeO2薄膜晶体取向的影响机理进行了初步的探讨。由于CeO2(111)、(311)面为密排面和次密排面,在结晶化过程中所需克服的能垒最低和次低,所以,退火后形成了(111)、(311)结构的CeO2薄膜。
- 金波李炜郑志宏王曦
- 关键词：退火晶体取向
- 用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜
- 采用离子束辅助增强沉积系统(IBED)在SIMOX SOI顶层硅上生长氧化铪薄膜,随后分别采用O<,2>或N<,2>气氛下迅速退火以及N<,2>气氛下炉管退火,利用掠角X射线衍射技术(GAXRD)考察了退火对氧化铪薄膜结...
- 邢玉梅陶凯俞跃辉宋朝瑞郑志宏
- 关键词：SOIX射线衍射技术
- 文献传递
