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刘晓婷
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西安交通大学
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宋忠孝
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张丹
西安交通大学
姜帆
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一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法
本发明公开了一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法,所述复合介质保护膜包括掺杂有弥散分布ZnO颗粒的MgO薄膜。由于在MgO薄膜中掺杂ZnO颗粒,改变了表面颗粒的形状,表面颗粒形状由椭圆形变成三角形。使得所述复合介...
宋忠孝
李怡雪
何双
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张丹
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马洋
陈建华
李翠兰
刘晓婷
朱凡
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一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法
一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法,该制备方法包括:1)在生长有SiO<Sub>2</Sub>的Si基片上溅射IGZO非晶薄膜,得到生长有IGZO非晶薄膜的硅基片;2)将生长有IG...
宋忠孝
李雁淮
李怡雪
张丹
刘晓婷
姜帆
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一种N2处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法
一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法,该制备方法包括:1)在生长有SiO<Sub>2</Sub>的Si基片上溅射IGZO非晶薄膜,得到生长有IGZO非晶薄膜的硅基片;2)将生长有IG...
宋忠孝
李雁淮
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