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王旭坤

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇底盘
  • 2篇图案化
  • 2篇紫外光刻
  • 2篇镂空
  • 2篇微加工
  • 2篇微加工工艺
  • 2篇微结构
  • 2篇显影
  • 2篇光刻
  • 2篇复合材料
  • 2篇氟
  • 2篇铁
  • 2篇处理工艺
  • 2篇复合材
  • 1篇微纳米结构
  • 1篇纳米
  • 1篇碳

机构

  • 4篇武汉理工大学

作者

  • 4篇麦立强
  • 4篇何亮
  • 4篇王旭坤
  • 2篇周鹏
  • 2篇王建国
  • 2篇杨枭
  • 2篇尹聪

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用于微纳器件制作的样品处理装置及处理工艺
本发明提供一种用于微纳器件制作的样品处理装置，包括由铁氟龙制作的洗显装置与甩干装置，所述洗显装置包括底盘、通过螺丝固定在所述底盘上的提杆，所述底盘上设有若干矩形凹槽与圆形通孔，所述圆形通孔从所述底盘底面贯穿至所述矩形凹槽...
何亮麦立强宋培帅王旭坤尹聪杨枭
文献传递
一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺
本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO<Sub>2</Sub>球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO<Sub>2</S...
何亮麦立强王建国周鹏宋培帅王旭坤
文献传递
一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺
本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO<Sub>2</Sub>球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO<Sub>2</S...
何亮麦立强王建国周鹏宋培帅王旭坤
文献传递
一种用于微纳器件制作的样品处理装置及处理工艺
本发明提供一种用于微纳器件制作的样品处理装置，包括由铁氟龙制作的洗显装置与甩干装置，所述洗显装置包括底盘、通过螺丝固定在所述底盘上的提杆，所述底盘上设有若干矩形凹槽与圆形通孔，所述圆形通孔从所述底盘底面贯穿至所述矩形凹槽...
何亮麦立强宋培帅王旭坤尹聪杨枭
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