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陈丽洁

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇低频
  • 1篇低频响应
  • 1篇声压
  • 1篇水听器
  • 1篇频响
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS传感...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器技术

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇雷亚辉
  • 1篇朴胜春
  • 1篇陈丽洁
  • 1篇于洋

传媒

  • 1篇哈尔滨工程大...

年份

  • 1篇2021
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型氮化铝MEMS声压传感器技术被引量：3
2021年
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压电敏感特性耦合、电荷信号提取电极设计等相关技术验证研究,完成了氮化铝MEMS声传感器测试芯片的工艺与版图设计及加工与制作。通过样品测试分析,在典型检测电极上分别得到了0.61、1.12、1.64μV/Pa的单电极声压灵敏度和平坦的低频频率响应曲线,验证了基于ALN薄膜、采用弯曲振动模式的MEMS声敏感芯片设计可以实现低频高灵敏度声传感器。
陈丽洁陈丽洁于洋雷亚辉于洋龚李佳
关键词：氮化铝薄膜MEMS传感器低频响应水听器
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