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邱建华

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：台湾大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

主题

  • 1篇制程
  • 1篇制程技术
  • 1篇微细粉末
  • 1篇化学机械研磨
  • 1篇机械研磨
  • 1篇半导体化学
  • 1篇超微细
  • 1篇超微细粉末

机构

  • 1篇台湾大学

作者

  • 1篇刘如熹
  • 1篇邱建华
  • 1篇施文庆

传媒

  • 1篇中国颗粒学会...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
应用于半导体化学机械研磨之纳米级超微细二氧化铈粉末新制程技术
究已发明利用粉体覆盖管表面(Powder on Template Surface; POTS)方法制备纳米超微细二氧化铈研磨粉末。其已应用于半导体化学机械研究制程之聚亚芳香醚(Polyarylene ether; PAE...
刘如熹施文庆黎源欣邱建华蔡明时
关键词：化学机械研磨超微细粉末
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