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胡征
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1
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴学海
中国科学院上海冶金研究所
杨易
中国科学院上海冶金研究所
王惠民
中国科学院上海冶金研究所
蒋惠英
中国科学院上海冶金研究所
朱祖华
中国科学院上海冶金研究所
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1996
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InP系波导和光电探测器单片集成
1996年
本文主要报道InP光波导和InGaAs-PIN光电探测器的单片集成,包括材料生长、器件工艺、器件测试三个部份.器件的结构和制作方法较为简单,而代表器件性能的主要参数可与国外同类器件相接近,如光波导损耗最小为8.6dB/cm,器件正向压降为0.4~0.6V,反向击穿电压>40V,响应度~0.5A/W,上升时间<0.9ns.
杨易
陈兴国
程宗权
王惠民
吕章德
蒋惠英
王晨
施惠英
吴学海
朱祖华
胡征
关键词:
磷化铟
光电探测器
单片集成
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