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张海廷
作品数:
2
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供职机构:
北京师范大学低能核物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王葵如
北京邮电大学
阎凤章
北京师范大学低能核物理研究所
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CCD在光波导测试中的应用
王葵如
李新梅
张海廷
关键词:
电荷耦合器件
质子与Ti离子注入LiNbO_3光波导
1994年
用180~380keV质子注入LiNbO3造成折射率减小的埋层,以形成近表面处的平面波导;用350keV高注量Ti离子注入增加折射率,在注入区形成平面波导;用不同能量质子叠加注入,退掉由Ti内扩散制成的波导层。离子注入能在纵向与横向上改变LiNbO3的折射率剖面分布,可用于制作集成光学器件。
阎凤章
张海廷
王葵如
关键词:
离子注入
铌酸锂
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