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王红梅

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北工业大学材料研究中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇重掺硅
  • 1篇硅中氧
  • 1篇合法
  • 1篇符合法
  • 1篇VLSI
  • 1篇锑
  • 1篇掺锑

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇李养贤
  • 1篇韦伦存
  • 1篇徐岳生
  • 1篇刘彩池
  • 1篇王红梅

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
符合法弹性前冲测量重掺锑硅中氧含量
1995年
本文以能量为２７ＭｅＶ的（１２）Ｃ做为入射粒子束，采用符合法弹性前冲（ＣＥＲＤＡ）定量测量了重掺锑硅中氧含量，证实重掺锑硅中氧含量较普通直拉硅要低约４０％，且随着锑含量增加，氧含量下降．对ＣＥＲＤＡ法测量原理及影响测量精度的因素进行了分析与讨论．
徐岳生刘彩池李养贤朱则韶王红梅韦伦存
关键词：VLSI锑重掺硅
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共1页<1>
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