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李佳峻
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1
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教育部
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一般工业技术
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合作作者
任丁
教育部
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李佳峻
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1篇
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SRIM模拟W(Mo)/Cu纳米复合薄膜He+离子辐照损伤
用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60 KeV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0、1×1017He+/cm2、5×1017He+/cm2。利用SRIM软件模拟上述不同调幅...
林黎蔚
李佳峻
刘波
任丁
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SRIM
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