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马林

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：航空宇航科学技术理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇理学

主题

  • 3篇调节装置
  • 3篇形貌
  • 3篇锑化铟
  • 3篇流量计
  • 3篇晶体
  • 3篇晶体生长
  • 3篇晶体生长过程
  • 3篇放肩
  • 2篇雷达
  • 1篇弹性挡圈
  • 1篇挡圈
  • 1篇悬臂
  • 1篇真空吸盘
  • 1篇支座
  • 1篇深空
  • 1篇深空探测
  • 1篇手爪
  • 1篇吸附式
  • 1篇校准
  • 1篇螺钉

机构

  • 6篇中国电子科技...
  • 1篇学研究院
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 7篇马林
  • 3篇王健
  • 3篇李强

传媒

  • 1篇航天器环境工...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2016
  • 2篇2010
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置及调节方法
本发明涉及一种液相提拉晶体生长过程中的放肩过程的晶体形貌调节方法，特别涉及一种锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置及调节方法。包括单晶炉装置和炉外控制装置，炉外控制装置包括：氢气流量计、氩气流量计、上位机控制装置、压力...
于凯王健马林李强霍晓青
文献传递
晶片吸附式传输机械手
本发明提供了一种晶片吸附式传输机械手，涉及半导体专用设备用晶片传输机械手技术领域。包括电机，悬臂上装有第电机，连接小轴通过第三轴承装在悬臂上，连接小轴和第三电机轴相连，连接小轴的另一端设有可吸附晶片的真空吸盘；悬臂和三维...
衣忠波张玮琪马林
文献传递
锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置
本实用新型涉及一种锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置。包括单晶炉装置和炉外控制装置，炉外控制装置包括：氢气流量计、氩气流量计、上位机控制装置、压力变送器、控压仪表、电控阀门、机械泵、分子泵前级阀、分子泵。由于本实用新...
于凯马林李强王健霍晓青
文献传递
空间目标探测雷达技术
报告结合我国探月工程三期无人采样返回器探测的远程探测雷达技术需求，介绍了我国空间目标探测的雷达技术向"更远、更多、更小、更清"的研究发展方向。以及创新团队在空间目标雷达探测体系，空间目标普测关键技术，...
马林
关键词：雷达深空探测
一种半导体专用设备的弹性传感装置
本发明涉及一种传感装置，特别是一种半导体专用设备的弹性传感装置。本发明包括压销，安装板，轴用弹性挡圈，弹簧，传感器支座，传感器。轴用弹性挡圈固定在压销的槽内，弹簧装套在压销上后，将压销放入传感器支座，传感器通过螺钉固定在...
张敏杰衣忠波马林
空间目标雷达截面积的测量理论与实践被引量：3
2016年
文章从对空间目标雷达截面积测量的需求出发,给出了目标雷达截面积的基本概念与定义,对雷达截面积测量理论与方法进行了系统的阐述,并结合空间目标探测工程实际对测量精度做了理论分析,给出了常用的校准方法。
马林
关键词：雷达截面积校准
锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置及调节方法
本发明涉及一种液相提拉晶体生长过程中的放肩过程的晶体形貌调节方法，特别涉及一种锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置及调节方法。包括单晶炉装置和炉外控制装置，炉外控制装置包括：氢气流量计、氩气流量计、上位机控制装置、压力...
于凯王健马林李强霍晓青
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