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刘竹波
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太原理工大学
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山西省科技重大专项
国家自然科学基金
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一般工业技术
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周兵
太原理工大学
于盛旺
太原理工大学
王永胜
太原理工大学
马永
太原理工大学
黑鸿君
太原理工大学
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一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法
本发明公开了一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法,包括以下步骤:将预处理后的基体烘干,放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上;将真空室抽真空并通入氩气,采用离子源对...
周兵
王一名
刘竹波
李俊峰
马永
王永胜
于盛旺
一种在硅表面制备钛/类金刚石纳米多层薄膜的方法
本发明公开了一种在硅表面制备钛/类金刚石纳米多层薄膜的方法。具体包括下列步骤:将预先化学清洗的单晶硅基片烘干,放置于阴极电弧装置的旋转样品台上;抽真空,通入氩气到真空室,通过离子源对硅基片表面进行溅射清洗;以高纯的金属钛...
周兵
刘竹波
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一种高透明光致发光的氧化锌-聚乙烯复合涂层的制备方法
本发明公开了一种高透明光致发光的氧化锌‑聚乙烯复合涂层的制备方法,属于功能薄膜材料技术领域。制备方法包括下列步骤:将无水醋酸锌与聚乙烯按一定质量比机械搅拌混合后,经模压制成蒸发靶材,然后把制作好的靶材和预先清洗好的抛光单...
周兵
刘竹波
于盛旺
徐斌
李栓平
张志龙
文献传递
一种制备强韧化非晶碳基多相杂化薄膜的装置及方法
本发明公开了一种制备强韧化非晶碳基多相杂化薄膜的装置及方法。该装置为射频磁控溅射辅助直流和脉冲阴极电弧多激发源等离子体镀膜装置,制备方法包括:将预处理后的基体烘干,放置于多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上;抽真空,通...
周兵
刘竹波
吴玉程
黑鸿君
高洁
吴艳霞
王永胜
于盛旺
文献传递
一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法
本发明公开了一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法,首先将基体材料用金刚石微粉超声预处理后固定在真空镀膜室的旋转样品台上,调节基体与溅射靶之间距离;将镀膜室抽至本底真空后通入惰性气体或氮气,对基体表面进行离子溅射清洗;...
周兵
刘竹波
王永胜
马永
吴艳霞
高洁
黑鸿君
于盛旺
一种高精度生产变厚板的装置及方法
本发明公开了一种高精度生产变厚板的装置及方法,包括有上下设置的非圆轧辊、下轧辊,非圆轧辊位于下轧辊的上方,非圆轧辊包括辊轴、非圆辊套,非圆辊套套设于辊轴的外壁上,非圆辊套与辊轴之间设有限位键,在辊轴上对应限位键设有固定键...
刘元铭
李亚新
王振华
王涛
申宏卓
刘延啸
任忠凯
韩建超
刘竹波
姬亚峰
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一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法
本发明公开了一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法。采用离子源辅助阴极电弧沉积技术,配置两个不同特性的双激发源阴极电弧镀膜装置,其中一个为直流电弧蒸发阴极源,用于安装铝靶材,另一个为脉冲电弧蒸发阴极源,用于安装石墨靶;沉...
周兵
刘竹波
高洁
于盛旺
王志峰
徐斌
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一种制备强韧化非晶碳基多相杂化薄膜的装置及方法
本发明公开了一种制备强韧化非晶碳基多相杂化薄膜的装置及方法。该装置为射频磁控溅射辅助直流和脉冲阴极电弧多激发源等离子体镀膜装置,制备方法包括:将预处理后的基体烘干,放置于多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上;抽真空,通...
周兵
刘竹波
吴玉程
黑鸿君
高洁
吴艳霞
王永胜
于盛旺
一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法
本发明公开了一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法,包括下列步骤:将预处理好的硬质合金试样放入双辉等离子渗金属炉样品台上,悬挂好自制靶材并放置好辅助阴极;抽真空后通入氩气,对阴极与源极施加高电压并维持一定压差,反溅射...
周兵
刘竹波
于盛旺
吴玉程
马永
黑鸿君
徐斌
王雪松
王钰鹏
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一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法
本发明公开了一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法。该装置为离子源辅助脉冲阴极电弧装置,制备方法包括下列步骤:将预先化学清洗的硅基片烘干,放置在旋转样品台上;抽真空,通入氩气到真空室,采用离子溅射源对硅基片表面进行物理...
周兵
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