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王韬
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比亚迪汽车股份有限公司
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姚金才
比亚迪汽车股份有限公司
陈宇
比亚迪汽车股份有限公司
刘海强
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作者
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一种红外探测器封装结构及其制作方法
本发明提供一种红外探测器封装结构及其制作方法,所述方法包括在衬底的同一表面上形成红外光反射层和底接触电极,在所述红外光反射层和底接触电极上形成由探测器第一牺牲层释放后的第一空间层,在所述第一空间层上部分覆盖敏感材料探测层...
姚金才
刘海强
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一种红外探测器封装结构及其制作方法
本发明提供一种红外探测器封装结构及其制作方法,所述方法包括在衬底的同一表面上形成红外光反射层和底接触电极,在所述红外光反射层和底接触电极上形成由探测器第一牺牲层释放后的第一空间层,在所述第一空间层上部分覆盖敏感材料探测层...
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