郭群
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 一种化学气相沉积制备镍薄膜、碳化镍薄膜的设备及其方法
- 本发明涉及一种化学气相沉积制备镍薄膜、碳化镍薄膜的设备及其方法。为了解决已有镍薄膜、碳化镍薄膜制备方法存在的工艺流程复杂、薄膜粒子尺寸与形貌难以调控、三维基材台阶覆盖率差的不足，本发明的制备镍薄膜、碳化镍薄膜的方法，在该...
- 刘忠伟杨丽珍郭群朱惠钦
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- 一种等离子体增强原子层沉积碳化镍薄膜的设备及方法
- 本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积碳化镍薄膜的设备及方法，包括有载气瓶、氢气瓶、AMD‑Ni单体瓶、DAD‑Ni单体瓶、加热炉、机械泵和射频电源，将AMD‑Ni单体瓶和DAD‑Ni单体瓶放在加热套内，加热套内壁缠上加...
- 刘忠伟桑利军郭群
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- 一种高效组合式大气压电离源
- 本发明公开了一种高效组合式大气压电离源，VUV灯、高压电极、地电极和石英玻璃平行设置，且同轴，所述的石英玻璃位于高压电极和地电极之间，所述的进样口和质谱进样口分别设置在电离源腔体的两端，靠近VUV灯一侧的地电极上开有小孔...
- 杨丽珍刘忠伟郭群王卫国
- 一种高效组合式大气压电离源
- 本发明公开了一种高效组合式大气压电离源，VUV灯、高压电极、地电极和石英玻璃平行设置，且同轴，所述的石英玻璃位于高压电极和地电极之间，所述的进样口和质谱进样口分别设置在电离源腔体的两端，靠近VUV灯一侧的地电极上开有小孔...
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- 文献传递
- 原子层沉积铜薄膜研究进展被引量：1
- 2016年
- 微电子领域中的铜互连工艺需要沉积一层连续且保形好的铜籽晶层,随着集成电路中特征尺寸的减小及沟槽深宽比的增加,传统的热沉积工艺难以满足其将来的制作要求。本文介绍了使用新的强还原剂前驱体沉积铜金属工艺的研究进展,重点综述了利用氢气等离子体辅助原子层沉积铜薄膜工艺的研究现状,概述了应用各类铜前驱体进行铜薄膜沉积的参数及所制备铜薄膜的性能,总结了各工艺的优缺点。
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- 关键词：原子层沉积等离子体
- 等离子体增强原子层沉积碳化镍薄膜的研究
- 近年来，碳化镍薄膜由于具有优良催化性能引起人们的关注.传统的碳化镍薄膜是通过湿化学合成[1]和化学气相沉积的方法制备[2].本文利用氢等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术，以Ni(tBu2DAD)2作为镍源，制备了碳...
- 郭群刘忠伟陈强桑立军
- 关键词：电解催化
- 石英微晶天平技术在原子层沉积碳化镍薄膜过程中的应用研究
- 2018年
- 采用等离子体增强原子层沉积技术分别以Ni(amd)2、Ni(dad)2为镍、碳前驱体,氢等离子体为还原剂成功沉积了碳化镍薄膜。两个沉积过程中,碳化镍薄膜厚度都随着反应循环次数的增加而线性增加。利用石英微晶天平技术对碳化镍薄膜的沉积过程进行了原位在线测量。初步提出碳化镍薄膜的沉积机理,其中由等离子体作用产生的氢原子对沉积过程有重要作用。一方面,在等离子体中原子氢与Ni(amd)2或Ni(dad)2发生化学反应,生成Ni、挥发性的N-叔丁基乙酰胺盐和碳氢化合物,这些镍在镍表面上有吸附和分解的趋势。此外,原子氢对吸附的碳氢化合物脱氢生成碳化镍和大量碳物种具有促进作用。另一方面,预计它还会刻蚀碳化镍表面的无定形碳和石墨,或者将碳化镍分解成具有催化活性的金属镍。
- 胡玉莲郭群樊启鹏王正铎王院民刘忠伟杨丽珍
- 关键词：原子层沉积
