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祁斌
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1
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供职机构:
机电部
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相关领域:
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合作作者
周荷秀
机电部
施毅
南京大学物理学院物理学系
吴凤美
南京大学物理学院物理学系
赵丽华
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1篇
1993
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MNOS结构辐照感生界面电荷的研究
1993年
本文报导了MNOS结构经γ射线、电子和中子辐照在SiO_2-Si界面产生感生电荷的研究结果。实验表明,目前的MNOS结构在较低剂量时辐照感生电荷就趋于饱和,辐照特征与SiO_2厚度及辐照顺序有关。文中还对实验结果作了进一步讨论。
吴凤美
施毅
赵丽华
祁斌
刘英堃
周荷秀
路金印
关键词:
辐照
界面电荷
半导体
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