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程启忠
作品数:
2
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供职机构:
华北石油管理局
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相关领域:
化学工程
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合作作者
孙振杰
中国电子科技集团公司第四十五研...
甄建军
华北石油管理局
孙国平
华北石油管理局
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中国电子科技集团公司第四十五研...
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干式变压器压紧装置
本实用新型涉及干式变压器的压紧装置。是由长方形的连接板、固定块、销钉和连接螺栓所组成,其特征在于:在长方形的连接板一端,焊接有固定块,固定块和长方形连接板有一个孔,孔内焊接有销钉。在长方形连接板的另一端,焊接有螺栓,螺栓...
甄建军
程启忠
孙国平
文献传递
最小二乘法在抛光设备压力控制中的应用
2014年
在化学机械抛光(CMP)过程中,压力是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的压力控制方法,把压力控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。运用最小二乘法拟合曲线的算法实现压力值精确控制的设计方法,并通过MINITAB仿真及抛光实验验证其可行性。
孙振杰
王君锋
程启忠
关键词:
最小二乘法
压力控制
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