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文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇压力控制
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光设备
  • 1篇最小二乘
  • 1篇最小二乘法
  • 1篇销钉
  • 1篇连接螺栓
  • 1篇零部件
  • 1篇螺栓
  • 1篇夹件
  • 1篇仿真
  • 1篇干式
  • 1篇干式变压器
  • 1篇变压
  • 1篇变压器

机构

  • 2篇华北石油管理...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇程启忠
  • 1篇王君锋
  • 1篇孙国平
  • 1篇甄建军
  • 1篇孙振杰

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
干式变压器压紧装置
本实用新型涉及干式变压器的压紧装置。是由长方形的连接板、固定块、销钉和连接螺栓所组成,其特征在于:在长方形的连接板一端,焊接有固定块,固定块和长方形连接板有一个孔,孔内焊接有销钉。在长方形连接板的另一端,焊接有螺栓,螺栓...
甄建军程启忠孙国平
文献传递
最小二乘法在抛光设备压力控制中的应用
2014年
在化学机械抛光(CMP)过程中,压力是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的压力控制方法,把压力控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。运用最小二乘法拟合曲线的算法实现压力值精确控制的设计方法,并通过MINITAB仿真及抛光实验验证其可行性。
孙振杰王君锋程启忠
关键词:最小二乘法压力控制
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