胡春华
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中南大学航空航天学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- TiAlN/TiN纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：7
- 2016年
- 采用多靶反应磁控溅射制备了一系列TiAlN层厚固定,TiN层厚在一定范围内连续变化的不同调制结构的TiAlN/TiN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、纳米压痕仪和CETR-UMT-3型多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征和分析。研究结果表明:TiAlN/TiN纳米多层膜形成了周期性良好的成分调制结构,其中TiN层的插入并没有打断TiAlN层的柱状晶生长。在一定的调制周期下,TiN层和TiAlN层能够形成共格外延生长结构,多层膜呈现硬度异常升高的超硬效应,当TiN层厚约为1.6 nm时多层膜的硬度达到最大值50 GPa,并具有相比于TiAlN单层膜更低的摩擦系数。进一步增加TiN层厚,由于多层膜共格界面结构的破坏,多层膜的硬度随之降低。
- 胡春华董学超李淼磊黄小忠岳建岭
- 关键词：反应磁控溅射调制结构超硬效应
- TiAlN/TiN纳米多层涂层的微结构与力学性能
- 采用物理气相沉积技术(Physical Vapor Deposition,PVD)制备陶瓷薄膜或涂层对金属基体进行表面改性正获得越来越多的应用.TiAlN涂层因能够大大提高刀具的切削效率和使用寿命,成为目前获得最广泛商业...
- 岳建岭董学超王恩青李淼磊胡春华
- 关键词：反应磁控溅射调制结构超硬效应
