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邵嗣烘
作品数:
2
被引量:0
H指数:0
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蔡伟
复旦大学
王冬
复旦大学
曾璇
复旦大学
严昌浩
复旦大学
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中文专利
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电子电信
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流体力学方程
1篇
光滑化
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1篇
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机构
2篇
复旦大学
作者
2篇
严昌浩
2篇
曾璇
2篇
王冬
2篇
蔡伟
2篇
邵嗣烘
年份
1篇
2019
1篇
2016
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一种考虑抛光液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法
本发明属半导体可制造性设计领域,具体涉及一种考虑研磨液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法,该方法采用微小粒子表征化学机械抛光中的工艺材料,用NS流体力学方程表述粒子间相互作用,通过光滑化粒子流体动力学方法进行计算获...
曾璇
邵嗣烘
严昌浩
蔡伟
王冬
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一种考虑抛光液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法
本发明属半导体可制造性设计领域,具体涉及一种考虑研磨液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法,该方法采用微小粒子表征化学机械抛光中的工艺材料,用NS流体力学方程表述粒子间相互作用,通过光滑化粒子流体动力学方法进行计算获...
曾璇
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