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黄雪梅
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京师范大学核科学与技术学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄祖洽
北京师范大学核科学与技术学院
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北京师范大学
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黄祖洽
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黄雪梅
传媒
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北京师范大学...
年份
1篇
1988
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硅片氧化过程及其对硅中杂质分布影响的分析
被引量:1
1988年
利用带活动边界的“D'Alembert变分法”分析了硅片的氧化过程及此过程所引起的硅中杂质的再分布.氧化过程的理论分析结果及对两种常见的杂质初始分布的计算结果均与实验相符.
黄祖洽
黄雪梅
关键词:
扩散
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