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周良文

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇亚胺
  • 1篇酰胺
  • 1篇酰胺酸
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇微机电系统
  • 1篇聚酰胺
  • 1篇聚酰胺酸
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇金曦
  • 1篇曹宇
  • 1篇曾晓雁
  • 1篇王小叶
  • 1篇周良文

传媒

  • 1篇高分子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微笔直写成型聚酰亚胺图形工艺研究
2009年
选用均苯四甲酸二酐(PMDA)、4,4′-二氨基二苯醚(ODA)为单体,通过低温缩聚反应制备了PMDA-ODA型聚酰胺酸溶液,通过调节其黏度特性使之适合于微笔直写沉积工艺.采用微笔直写沉积PAA溶液和热亚胺化处理两步法制作出PI图形,并通过Au/PI微桥阵列结构实例显示了该工艺在MEMS聚合物牺牲层或结构层制造领域的应用潜力.
曹宇王小叶周良文金曦曾晓雁
关键词：聚酰胺酸聚酰亚胺微机电系统
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共1页<1>
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