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李景
作品数:
2
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供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
马仙梅
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
钱波
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
蒋春萍
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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1篇
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年份
2篇
2011
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MgZnO薄膜的PLD制备及其特性研究Si基微盘光学谐振腔的制备与研究
本论文主要包括两部分:一、利用激光脉冲沉积/(PLD/)法制备MgZnO薄膜并分析其结晶、光学特性等,并利用微纳加工法实现了紫外探测器原型器件的制备。二、利用微纳加工技术完成了Si基微盘谐振腔的制备与研究工作。 ...
李景
关键词:
PLD
退火温度
微纳加工
文献传递
退火诱导MgZnO薄膜(220)晶向晶化性质的研究
2011年
采用激光脉冲沉积法(PLD)在石英玻璃上成功制备了一系列MgZnO薄膜。并通过选用高Mg含量的靶材,成功将薄膜的吸收边调节至极紫外区域(200~280nm),经计算MgZnO薄膜的带隙高达5.46eV。进一步研究这种高Mg含量的MgZnO薄膜的结构特性,对薄膜进行了热退火处理,并首次观察到依赖于退火温度变化的(220)取向衍射峰的变化。
李景
顾济华
钱波
蒋春萍
马仙梅
关键词:
禁带宽度
退火温度
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