杨梅
- 作品数：11 被引量：12H指数：2
- 供职机构：北京大学更多>>
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- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程政治法律更多>>
- 厚胶与金属材料三维微加工技术及应用
- 随着MEMS系统的复杂度和集成度不断提高，微装配技术的应用日益广泛。本文开发了一种基于MEMS的模块化微装配平台研究，并对其中关键的厚胶和金属材料的三维微加工技术进行了研究。
论文提出并加工实现了一种基于MEM...
- 杨梅
- 关键词：微装配
- 血栓相关活性寡肽及其铜配合物的设计、合成和生物活性评价
- 杨梅
- 一种评价人体运动协调性的方法
- 本发明公开了一种评价人体运动协调性的方法，该方法根据不同人体部位的加速度信号的时序序列进行相空间重构并完成去噪处理后，再根据任意一个相空间的局部流形特征结构对其他相空间分别进行预测，得到人体部位彼此的协调性指数；最终构建...
- 贾凡安健杨梅张珏方竞
- 文献传递
- 基于MEMS的高精度三维微组装方法及组装件
- 本发明提供一种基于MEMS的高精度三维微组装方法及其组装件，该方法包括：在衬底上设置一与待装配芯片相匹配的微夹具，并分别在衬底和待装配芯片相应位置上设置对准件和对准配件以及焊料凸点；在微夹具内注入液体，将待装配芯片倒扣在...
- 陈兢杨梅舒琼
- 文献传递
- MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究被引量：7
- 2006年
- 运用反应射频溅射的方法进行了TiN薄膜的制备,通过改变关键工艺参数,如氩气氮气比、气体压力等,研究工艺参数对TiN薄膜特性的影响.论文还研究了不同退火工艺条件对薄膜应力的影响,可以实现薄膜低温退火.论文还对TiN的刻蚀和抗腐蚀特性进行了研究,对比了多种湿法对TiN的刻蚀情况,得出常温下TiN具有良好的抗腐蚀特性,并得到干法和湿法刻蚀速率.为TiN材料的MEMS应用打下了基础.
- 杨梅舒琼陈兢
- 关键词：TIN溅射应力退火
- 一种评价人体运动协调性的方法
- 本发明公开了一种评价人体运动协调性的方法，该方法根据不同人体部位的加速度信号的时序序列进行相空间重构并完成去噪处理后，再根据任意一个相空间的局部流形特征结构对其他相空间分别进行预测，得到人体部位彼此的协调性指数；最终构建...
- 贾凡安健杨梅张珏方竞
- 文献传递
- 基于ICP的金属钛深刻蚀被引量：1
- 2008年
- MEMS应用领域的扩展要求开发硅材料之外其他新型材料的三维微细加工技术.为此,对金属钛这一新型MEMS体材料的三维加工进行了探索.金属钛不仅延展性和导电性好,且断裂韧度高、高低温特性以及生物兼容性好.采用电感耦合等离子体源(inductively coupled plasma,ICP)技术对金属钛进行三维深刻蚀,采用不同刻蚀掩模、氯基刻蚀气体,研究了线圈功率、平板功率和Cl2流量对刻蚀速率和选择比等工艺参数的影响,并对Ti深刻蚀参数进行了优化,得到0.91μm/min的刻蚀速率,可实现光滑表面和陡直侧壁.
- 杨梅陈兢
- 关键词：金属钛深刻蚀
- 一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计被引量：3
- 2006年
- 提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转,使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率,将制动电压降至18V.引入背面梳齿提高开关响应速度,模拟结果表明,光开关具有毫秒量级响应时间.与其他设计相比,该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点.
- 杨梅韩翔林川力陈兢
- 关键词：MEMS光开关开关时间
- 汽车零部件企业客户满意度影响因素探讨
- 随着汽车行业的迅猛发展，汽车行业已成为带动中国经济增长的支柱性产业，而汽车零部件企业在汽车行业中占据着重要地位。顾客满意度指数是目前许多国家使用的一种新经济指标，主要用于对经济产出质量进行评价。国内外大量的实践证明，顾客...
- 杨梅
- 关键词：客户满意度层次分析法
