张艳飞
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 一种用于机床的半自动夹具
- 本实用新型公开了一种用于机床的半自动夹具，夹具体上两端固连连杆支座,定位块安装在夹具体上中间部位，定位平板固定在定位块两侧,滑座与弧形压块位于定位块两端；地脚式液压缸固定安装在夹具体内液压缸座上,连杆滑座设置在液压缸座顶...
- 张艳飞李晓莹李光涛赵小军肖同新
- 文献传递
- 一种深沟道隔离槽的制备方法
- 本发明针对MEMS技术中机械连接但是电绝缘的需求，公开了一种深沟道隔离槽的制备方法。该方法步骤：抛光硅片；光刻；DRIE形成深沟槽2，所述深沟槽2为等腰倒梯形，槽侧壁与竖直方向夹角θ满足1°≤θ≤5°；氧清洗；在深沟槽2...
- 李晓莹李光涛乔大勇任森张艳飞康宝鹏
- 文献传递
- 一种用于机床的半自动夹具
- 本发明公开了一种用于机床的半自动夹具，夹具体上两端固连连杆支座,定位块安装在夹具体上中间部位，定位平板固定在定位块两侧,滑座与弧形压块位于定位块两端；地脚式液压缸固定安装在夹具体内液压缸座上,连杆滑座设置在液压缸座顶部,...
- 张艳飞李晓莹李光涛赵小军肖同新
- 文献传递
- 一种深沟道隔离槽的制备方法
- 本发明针对MEMS技术中机械连接但是电绝缘的需求，公开了一种深沟道隔离槽的制备方法。该方法步骤：抛光硅片；光刻；DRIE形成深沟槽2，所述深沟槽2为等腰倒梯形，槽侧壁与竖直方向夹角θ满足1°≤θ≤5°；氧清洗；在深沟槽2...
- 李晓莹李光涛乔大勇任森张艳飞康宝鹏
- 基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试被引量：1
- 2013年
- 针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 kHz～1 MHz精确扫频,其最小扫频步距为1 Hz。通过算法补偿有效减小了扫频激励信号的频率误差,使其平均绝对误差低于0.08 Hz。在幅值检测电路设计中,采用峰值检测电路与差分PulSAR ADC电路相结合,实现了传感器输出信号电压幅值的高分辨率检测,实测得到传感器幅频曲线,并对谐振器的谐振频率稳定性进行了测试,计算出了谐振器的机械品质因数和谐振频率等参数,为谐振器结构优化设计提供了依据。
- 李晓莹张艳飞任森邓进军苑伟政
- 关键词：谐振式压力传感器芯片测试直接数字合成扫频
