宋强
- 作品数：3 被引量：35H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项上海市科技人才计划项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 一种混合迭代算法在大离焦距离TIE相位恢复中的应用被引量：5
- 2016年
- 研究了一种基于强度传输方程(TIE)和角谱迭代传播算法的混合迭代算法。通过仿真和实验,对比了TIE算法与混合迭代算法在不同离焦距离下的相位恢复效果。结果表明,与TIE算法相比,混合迭代算法提升了大离焦距离下的相位恢复精度,同时提高了相位恢复的空间分辨率。该算法为高精度相位恢复提供了解决方案。
- 郭怡明张方宋强朱菁司徒国海袁乔杨宝喜黄惠杰
- 关键词：相位恢复图像处理
- 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计被引量：17
- 2015年
- 深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求,衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg-Saxton(GS)及其改进算法,一般只能通过降低均匀性来提高衍射效率,无法得到最优的解。而全局优化算法如模拟退火法、遗传基因法等需要大量的计算时间,难以实现像素数目多的深紫外DOE的设计。为了克服上述困难,提出了一种基于GS的混合梯度下降算法,在迭代过程中对每次迭代的振幅进行加权反馈修正,在加快收敛速度的同时,减少误差,同时实现高效率和高信噪比。利用该算法对光刻需要的传统、四极照明光瞳、定制照明光瞳的DOE进行了设计,结果表明,实现传统和四极照明光瞳的16阶量化相位DOE的衍射效率均超过92%,而非均匀性分别为3.98%和2.3%。实现定制照明光瞳的DOE的衍射效率为91%,图形恢复误差为5.8%。该方法为获得高性能深紫外DOE提供一条可行的途径。
- 宋强朱菁王健张方吕向博杨宝喜黄惠杰
- 关键词：光学设计光学光刻部分相干光
- 大口径凸非球面面形检测方法研究被引量：13
- 2014年
- 提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。
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- 关键词：光学测量光学制造非球面
