常艳贺
- 作品数：34 被引量：44H指数：5
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：理学文化科学航空宇航科学技术机械工程更多>>
- 深紫外氧化物薄膜的光学特性被引量：6
- 2011年
- 降低薄膜的吸收对于氧化物薄膜在深紫外波段的应用具有重要意义,为此采用离子束溅射方法分别制备了用于深紫外波段的Al2O3和SiO2薄膜,利用光度法和椭圆偏振法相结合,计算得到其在190～800nm范围内折射率n和消光系数k的色散曲线。在此基础上,以这两种氧化物材料作为高低折射率材料进行组合,设计并制备了λ/4规整膜系的193nm多层高反射膜。实验结果表明,退火前薄膜的光学损耗相对较大,其中散射损耗较小,吸收损耗是光学损耗的主要部分。退火后光学损耗明显减小,散射损耗随着表面粗糙度增加而略微增加,表明光学损耗的减小是由吸收损耗下降所引起的。通过工艺优化,改善了氧化物薄膜在深紫外波段的损耗状况,使其在深紫外波段具有较好的光学特性,退火后高反射膜的反射率在193nm处达96%以上。
- 常艳贺金春水李春邓文渊匡尚奇靳京城
- 关键词：深紫外离子束溅射氧化物损耗
- 基于虚拟仿真的“物理光学”混合式教学模式探索被引量：5
- 2022年
- “物理光学”课程是一门理论性强、内容抽象、晦涩难懂的专业基础课,为了增强学生的学习效果,主要探索了基于虚拟仿真的“物理光学”线上线下混合式教学的改革。基于VirtualLab Fusion光学仿真平台,建立了虚拟仿真可视化教学资源,探索了线上线下混合式教学的设计,挖掘了课程中蕴含的思想政治教育价值,实现了思政元素在教学设计中的有机融入,实践了面向产出的多元化学习评价机制。教学实践结果表明,课程的改革提高了学生的自主学习能力和课程目标达成度。
- 贺文俊欧阳名钊王洋郑阳常艳贺
- 关键词：物理光学混合式教学
- 一种深紫外光学薄膜处理装置
- 一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第...
- 邓文渊金春水常艳贺靳京城
- 文献传递
- 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
- 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置涉及ArF准分子激光薄膜元件应用技术领域，该装置包括：ArF激光传输模块、样品表面ArF激光辐射能量密度实时监控模块、光学薄膜样品表面损伤的实时监控与判别模块、电动样品控制...
- 邓文渊金春水常艳贺靳京城
- 深紫外氟化物薄膜元件污染物吸附能力的分析方法
- 深紫外氟化物薄膜元件污染物吸附能力的分析方法，属于深紫外光学技术应用领域，该方法包括一：测试氟化物薄膜样品在镀制完成之初的反射率R<Sub>0</Sub>或透过率T<Sub>0</Sub>；二：氟化物薄膜样品在放置于应用...
- 金春水靳京城李春邓文渊常艳贺
- 文献传递
- 可见光范围镀铝反射率的研究被引量：5
- 2009年
- 介绍在可见光范围内,在玻璃基底上制备铝膜,保护膜采用高反介质膜堆。采用离子辅助手段,使其反射率在450nm～750nm波长范围内提高到95%左右。同时讨论了膜料的选择、膜系的设计、工艺参数的优化及基片清洗等问题。
- 王禹皓李春付秀华常艳贺李珊
- 关键词：镀铝介质膜
- 193nm薄膜激光诱导损伤研究被引量：1
- 2011年
- 概述了193nm薄膜激光诱导损伤的研究进展。通过对紫外到深紫外波段几种典型薄膜损伤形貌的介绍,对比分析了193nm薄膜激光诱导损伤的可能原因。指出在该波段的氧化物薄膜损伤中,吸收是导致薄膜大块损伤的重要因素,而氟化物的薄膜损伤则是由沉积过程的膜层局部缺陷造成。根据薄膜样品的损伤分析表明,薄膜的某些制备参量与激光损伤阈值相关联。为提高薄膜元件的抗激光损伤能力,分别从薄膜材料的选择、膜系设计的完善以及沉积工艺的优化等3个方面出发,总结出改善薄膜激光损伤阈值的方法。
- 常艳贺金春水邓文渊李春
- 关键词：损伤形貌激光损伤阈值
- 静、动态目标模拟离轴三反光学系统设计被引量：4
- 2020年
- 基于单色像差理论,确定同轴三反光学系统的初始结构参数,通过二次曲面系数为0的偶次非球面的高次项之间的平衡,校正离轴系统引起的非对称性像差,同时结合DMD(数字微镜器件)目标生成器,设计出一款采用离轴三反光学系统的平行光管,为坦克承载的被测光电设备提供室内模拟目标。本光学系统的设计指标是工作波段为0.2~1.2μm,有效焦距为3000mm,全视场为2°,F数为8。结果表明,系统各视场的波像差均优于λ/34(主波长λ=0.6328μm),传递函数MTF均优于0.71@36.5lp/mm,接近衍射极限,成像质量好。对系统进行公差分析之后,系统的传递函数值远优于0.6@36.5lp/mm,合理的公差分配使系统加工难度降低,装调检测更加方便容易。
- 王志强常艳贺王春艳孙昊李圆圆安文强
- 关键词：离轴三反光学系统公差分析
- 热蒸发HfO_2薄膜光学常数表征
- 2017年
- 薄膜材料库中的光学常数与实际制备的相比有很大差别,精确求解在特定工艺条件下的光学常数对设计和制备多层薄膜具有重要意义。在熔融石英(JGS1)基底上,采用热蒸发沉积方法制备了厚度为330nm的单层HfO_2薄膜,利用分光光度计测量薄膜的透射率和反射率,并采用包络法和光度法分别计算得到230nm^800nm范围内折射率n和消光系数k的色散曲线。两种方法确定的HfO_2薄膜厚度分别为331.22nm和331.03nm,两者偏差为0.057%;在266nm处两种方法确定的折射率相差0.011,消光系数相差10-5量级。结果表明,运用包络法和光度法确定HfO_2薄膜光学常数的拟合结果吻合较好,能够相互验证且避免了单一方法求解过程中所产生的误差。
- 常艳贺惠冰张静冯时赵群
- 关键词：光学常数包络法HFO2
- 193nm氟化物薄膜的激光诱导损伤被引量：4
- 2013年
- 在ArF准分子激光系统的应用中,光学薄膜元件激光诱导损伤的因素很多,因此在特定模式下分析薄膜损伤机理具有重要意义。采用热蒸发方法分别制备了LaF3和MgF2单层薄膜,以及LaF3/MgF2的半反射薄膜和高反射薄膜,对沉积的薄膜进行了ArF准分子193nm激光的损伤阈值测量,并采用Nomarski显微镜观察了薄膜的表面缺陷和损伤形貌。实验结果表明,在薄膜的制备过程中,单层LaF3薄膜沉积后表面比较光滑,而MgF2薄膜则有少量的缺陷产生,缺陷随着薄膜层数的增加而逐渐增多。从薄膜的显微观测推断,在此工艺条件下制备的高反射薄膜损伤主要是由于大量缺陷引起。
- 常艳贺金春水李春靳京城
- 关键词：激光损伤热蒸发氟化物
