孙延东
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金天津市科技计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 运用磁控溅射系统制备AlN/-ZrB2多层膜
- 高真空条件下利用磁控溅射系统制备了AlN/ZrB2纳米多层膜.通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与AlN、ZrB2单层厚度比例tAlN∶ tZrB2对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明:多层膜...
- 孙延东王晖邓湘云李德军
- 关键词：MAGNETRONSPUTTERINGMODULATIONMODULATION
- TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析被引量：3
- 2010年
- 利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15∶1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
- 董磊刘广庆孙延东龚杰刘孟寅李德军
- 关键词：离子束辅助沉积
- 调制周期对ZrB_2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
- 2010年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:ZrB2具有典型的六角相及WNx为六方与立方混合相结构,ZrB2/WNx的多层膜则呈现多晶结构。所有多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料值。当调制周期Λ=9.6 nm,轰击能量为200 eV时,ZrB2/WNx的多层膜显示出最高的硬度(30.2 GPa)和弹性模量,内应力和划痕测试等机械性能也取得较好的结果。
- 刘广庆刘孟寅龚杰孙延东李德军
- 关键词：离子辅助沉积调制周期
- 离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB_2纳米多层膜的研究被引量：1
- 2011年
- 运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、内应力和膜基结合力等力学性质的影响.结果表明:随着调制比例从8∶1变化到25∶1,多层膜的硬度在29～34 GPa之间变化,所有多层膜的硬度均高于TiAlN和TiB2两种各体层材料通过混合法则得的结果,结合XRD结果分析认为,TiAlN(111)择优取向是薄膜硬度升高的一个重要原因.
- 孙延东颜景岳张帅董磊曹猛刘梦寅李德军
- 关键词：离子束辅助沉积
