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王喜娜

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 5篇氧腐蚀
  • 5篇氧化物薄膜
  • 5篇原位
  • 5篇蒸汽压
  • 5篇精炼
  • 5篇活性
  • 5篇活性氧
  • 5篇高纯
  • 5篇高纯材料
  • 5篇饱和蒸汽压
  • 5篇超高纯
  • 4篇金属
  • 4篇衬底
  • 3篇真空精炼
  • 3篇真空精炼装置
  • 3篇线阵
  • 3篇金属箔
  • 3篇精炼装置
  • 3篇加热温度
  • 3篇硅基

机构

  • 16篇中国科学院
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 16篇王喜娜
  • 15篇杜小龙
  • 15篇薛其坤
  • 12篇曾兆权
  • 12篇袁洪涛
  • 11篇贾金锋
  • 10篇梅增霞
  • 10篇李含冬
  • 7篇张天冲
  • 5篇董靖
  • 3篇王勇
  • 1篇张泽
  • 1篇张晓娜

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 9篇2007
  • 3篇2006
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种耐活性氧腐蚀的新型高效衬底加热装置
本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置，包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构，能获得不低于1000℃均匀平面温场，...
李含冬杜小龙梅增霞曾兆权袁洪涛王喜娜董靖张天冲薛其坤
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一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置，该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整体。...
杜小龙曾兆权袁洪涛薛其坤贾金锋李含冬王喜娜
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一种在Si(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在硅(111)衬底上制备高质量氧化锌单晶薄膜的方法，即分五步依次在超高真空环境下热处理硅衬底获得清洁的Si(111)面：1.低温沉积1～10nm厚的金属单晶薄膜如镁、钙、锶、镉等，2.低温氧化金属膜以获得...
杜小龙王喜娜曾兆权袁洪涛梅增霞薛其坤贾金锋
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一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置，该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整体。...
杜小龙曾兆权袁洪涛薛其坤贾金锋李含冬王喜娜
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一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置
本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置，包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构，能获得不低于1000℃均匀平面温场，...
李含冬杜小龙梅增霞曾兆权袁洪涛王喜娜董靖张天冲薛其坤
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一种高纯材料的高真空原位两步精炼方法
本发明公开了一种高纯以及超高纯材料的高真空原位两步精炼方法，其特点是在高真空条件下利用双加热丝扩散炉独立加热坩锅的上部与下部，从而在不同阶段使坩锅形成上高下低或上低下高的温度分布，然后分两步加热坩锅分别有效去除高饱和蒸汽...
杜小龙袁洪涛曾兆权薛其坤贾金锋王喜娜李含冬
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Si基高质量ZnO薄膜的控制生长、界面结构与性能研究
具有优越光电性能的ZnO是第三代宽禁带半导体的核心基础材料之一，在短波长光电子器件和自旋电子学器件中具有十分巨大的应用前景。作为导电性可控的衬底，硅片价格低廉、结晶性好、尺寸大，并且硅基光电子集成工艺非常成熟，因此Si基...
王喜娜
关键词：ZNO薄膜分子束外延固相反应光致发光谱喇曼光谱
一种在硅晶片上制备硅化镁薄膜的方法
本发明公开了一种在硅晶片上制备Mg<Sub>2</Sub>Si薄膜的方法，即分五步依次在超高真空环境下热处理硅晶片获得清洁的硅表面、低温沉积金属镁薄膜、低温氧化金属镁膜以获得MgO层、低温沉积氧化物覆盖层、以及高温退火形...
杜小龙王喜娜王勇梅增霞张天冲薛其坤
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一种高纯材料的高真空原位两步精炼方法
本发明公开了一种高纯以及超高纯材料的高真空原位两步精炼方法，其特点是在高真空条件下利用双加热丝扩散炉独立加热坩锅的上部与下部，从而在不同阶段使坩锅形成上高下低或上低下高的温度分布，然后分两步加热坩锅分别有效去除高饱和蒸汽...
杜小龙袁洪涛曾兆权薛其坤贾金锋王喜娜李含冬
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一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器
本实用新型公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上，在支撑盘两端边缘对称...
李含冬杜小龙袁洪涛曾兆权张天冲董靖王喜娜梅增霞薛其坤贾金锋
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