赵缨慰
- 作品数:3 被引量:13H指数:2
- 供职机构:长春理工大学更多>>
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- 相关领域:理学一般工业技术更多>>
- 激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文)被引量:5
- 2010年
- 针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法。所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境。
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- 关键词:膜厚监控
- 多功能抗激光损伤高反射膜被引量:7
- 2010年
- 为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO_2和SiO_2为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀膜工艺参数和监控方法,在10 mm×1.8 mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时,薄膜在900~1 100 nm的p光与s光的反射率均大于99.95%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时满足两种激光器的使用要求。
- 赵缨慰付秀华李珊宫大为
- 关键词:光学薄膜高反射膜激光损伤
- 900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究
- 针对光学仪器的使用要求,在10*1.8mm的K9基底镀制抗激光损伤的高反射薄膜,能够同时满足半导体激光器和YAG激光器作为光源的特殊应用。
本文根据薄膜干涉原理和使用技术要求进行膜料的选择、利用TFC软件进行膜系设...
- 赵缨慰
- 关键词:光学薄膜高反射膜激光损伤