常正凯
- 作品数：17 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺文化科学更多>>
- 一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用
- 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用。所述复合结构靶材包括高磁导率的软磁性材料靶壳与铁磁性材料靶材，所述铁磁性材料靶材与软磁性材料靶壳相连。本发明复合结构靶材解决了由于铁磁性靶材表面...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏华伟刚陈育秋
- 文献传递
- 用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用
- 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材的设计及其应用。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成，靶壳紧固于磁性材料靶材外围；其中，靶壳为低饱和蒸气压和低二次电子发射产额的金属靶壳；...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏华伟刚陈育秋
- 文献传递
- 一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置
- 本实用新型属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置，包括冷凝剂输入管、冷凝剂输出管、法兰盘、绝缘垫圈及样品台，其中法兰盘通过绝缘垫圈密封安装在电弧离子镀炉体上，所述冷凝剂输入管及冷凝剂输出管的...
- 肖金泉常正凯孙超宫骏华伟刚
- 文献传递
- 一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用
- 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用。所述复合结构靶材包括高磁导率的软磁性材料靶壳与铁磁性材料靶材，所述铁磁性材料靶材与软磁性材料靶壳相连。本发明复合结构靶材解决了由于铁磁性靶材表面...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏华伟刚陈育秋
- 文献传递
- 用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用
- 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材的设计及其应用。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成，靶壳紧固于磁性材料靶材外围；其中，靶壳为低饱和蒸气压和低二次电子发射产额的金属靶壳；...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏华伟刚陈育秋
- (Ti,Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备被引量：10
- 2012年
- 利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N_2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N_2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N_2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型"分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N_2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降;采用改变N_2分压工艺制备(Ti,Al)N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130μm以上的硬质涂层.
- 赵升升程毓常正凯王铁钢孙超
- 关键词：硬质涂层应力分布
- 一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用
- 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材结构的设计及其应用。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成，靶壳紧固于磁性材料靶材外围；其中，靶壳选用高磁导率的软磁性材料靶壳，靶壳上附加相同温...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏
- 文献传递
- 电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究被引量：2
- 2012年
- 研究了电弧离子镀磁性靶材使用过程中发生"跑弧"并导致靶材无法稳定刻蚀的问题.利用有限元方法(FEM)对外加磁场下非磁性靶材系统和磁性靶材系统中的磁场分布进行了模拟.研究了外磁场对电弧斑点运动的影响机理,并结合电弧斑点放电的物理机制,探讨了磁性靶材与低饱和蒸气压金属靶壳、绝缘陶瓷靶壳或软磁性金属靶壳组成复合结构靶材解决磁性靶材使用问题的可行性.结果表明,这3种复合结构靶材设计方案均能有效解决电弧离子镀磁性靶材"跑弧"问题.通过实验得到,在低饱和蒸气压金属或绝缘陶瓷靶壳设计方案里,靶材频繁引弧到弧斑能受控运动的转变温度为(136.6±23.0)℃.
- 常正凯肖金泉陈育秋刘山川宫骏孙超
- 关键词：电弧离子镀磁性材料有限元方法磁场分布
- 一种用于飞机风蚀实验测试的送粉器装置
- 本实用新型涉及风蚀实验测试领域，具体为一种用于飞机风蚀实验测试的送粉器装置。该装置设有装料罐、进粉口、出粉口、弥散腔、气压平衡通道、聚四氟乙烯塑料密封件、气压分流平衡腔、滚筒、进气口、粉末输送通道、粉末直径流动束缚孔板等...
- 华伟刚范其香肖金泉常正凯宫骏孙超
- 文献传递
- 一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材
- 本实用新型属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成，靶壳紧固于磁性材料靶材外围；其中，靶壳为低饱和蒸气压和低二次电子发射产额的金属靶壳；或者，靶壳...
- 孙超常正凯肖金泉宫骏华伟刚陈育秋
- 文献传递
