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秦榕

作品数:1 被引量:6H指数:1
供职机构:青海黄河上游水电开发有限责任公司更多>>
发文基金:青海省重点企业技术创新项目更多>>
相关领域:电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇精馏
  • 1篇精馏工艺

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇青海黄河上游...

作者

  • 1篇王舒娅
  • 1篇刘刚
  • 1篇秦榕

传媒

  • 1篇有色金属(冶...

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进被引量:6
2013年
改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。
刘刚秦榕刘生章王舒娅
关键词:多晶硅精馏
共1页<1>
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