柴立群
- 作品数:149 被引量:224H指数:8
- 供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金:中国工程物理研究院双百人才基金国家自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 镜面对称法绝对测量中的误差补偿方法被引量:5
- 2013年
- 提出了一种对镜面对称法绝对测量中的原理性误差进行补偿的方法。镜面对称法绝对测量中,需要旋转其中一块平板,由于旋转次数的有限性,重构的三板波前均存在缺失cNθ项的原理性误差。通过增加一次不同角度的旋转,根据Zernike多项式在极坐标系中形式的旋转不变性,对旋转前后的波前差值求解多项式系数方程,获得了cNθ项的多项式系数,进而对原理性误差进行了补偿。由于cNθ项包含无穷多项,根据精度的需要和计算开销决定补偿的项数。模拟实验证明了该补偿方法的有效性。
- 何宇航柴立群陈波李强魏小红高波
- 关键词:误差补偿ZERNIKE多项式镜面对称绝对测量
- 干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制被引量:4
- 2006年
- 为了抑制杂散条纹的影响,提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法,它根据三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同,从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱,从而准确地恢复测试面的面形。模拟结果证明了该方法的有效性,准确度可以达到/λ1 000。实验表明:单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致,PV值和RMS值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为0.001λ和0.004λ,与涂消光漆法相差分别为0.042λ和0.019λ。通过7次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量,得到PV和RMS值的重复性分别为0.007 8λ和0.002 6λ。
- 徐建程石琦凯柴立群邓燕许乔
- 关键词:傅里叶分析平行平板
- CCD对高空间分辨率波前干涉检测的影响被引量:7
- 2006年
- 推导并用实验验证了光强与入射波前在单位像元面积里成近似线性关系,从而得到入射波前经CCD采样后的功率谱密度(PSD)公式·根据该公式,模拟分析了影响CCD采集系统的系统传递函数的各个因素:入射波前、CCD的填充因子及CCD的曝光时间,得出了他们与系统传递函数的定性关系,并且通过实验明确CCD曝光时间对高空间分辨率波前检测不确定度的影响,为高空间分辨率干涉设计提供了理论依据·
- 徐建程邓燕柴立群许乔石崎凯
- 关键词:高空间分辨率CCD
- 干涉仪系统传递函数的理论分析
- 1、干涉仪系统传递函数理论分析模型若被测元件为正弦分布,等效为正弦位相光栅,它的复振幅透过率函数为:t(x
- 徐建程许乔邓燕柴立群
- 文献传递
- 基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法
- 本发明公开了一种基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法,属于数字图像技术领域,解决现有技术中晶体锥光干涉图中的暗十字交叉区域较大,难以精确提取出十字图形中心位置的问题。本发明步骤如下:获取数字图像;将数字图像进行...
- 刘勇姜宏振李东刘旭郑芳兰张霖巴荣声杨一陈波杨晓瑜柴立群
- 文献传递
- 干涉成像系统传递函数的数值分析(英文)被引量:3
- 2012年
- 干涉仪系统传递函数能有效地表征系统相位成像的性能。通过假设干涉成像系统是复振幅的线性平移不变系统,模拟计算正弦相位光栅和相位台阶这两类标准相位物体的成像,确定干涉仪系统传递函数。数值分析结果表明:系统传递函数随着波像差的增加而减小;干涉成像系统对小幅度相位(远小于1 rad)成像是近似线性的,而对大幅度相位(大于0.5 rad)成像则是明显非线性的。当正弦相位的幅度为1时,系统传递函数在1/2和1/3截止频率处出现明显的急剧下降。高度为π/2的相位台阶成像时,系统传递函数随着空间频率的增加而缓慢地降低。
- 徐建程王飞舟邓燕柴立群
- 关键词:波像差
- 一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置
- 本发明公开了一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置,所述方法包括对含噪波前位相W<Sub>o</Sub>进行预处理,得到扩展矩阵W;对扩展矩阵W进行二维离散小波分解,得到系数向量C<Sub>o</Sub>;基...
- 徐凯源柴立群刘昂何宇航陈宁李强高波魏小红万道明
- 文献传递
- 用于ICF驱动器的取样光栅的矢量分析与计算被引量:17
- 2002年
- 在 ICF的终端光学聚焦系统中 ,采用取样光栅 ( BSG)将透射的三倍频光按一定比例送入能量计中进行能量诊断。采用精确耦合波矢量分析方法分析了衍射效率与光栅周期、刻槽深度、占空比等的关系 。
- 柴立群杨李茗许乔
- 关键词:ICF驱动器取样光栅衍射效率矢量分析
- 一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置
- 一种基于结构光照明频域拓展原理的光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置,包括激光光源、准直透镜、声光调制器、空间滤波器、偏振控制模块、反射镜、光阑、空间光调制器、透镜、遮光板、全息衍射片、分光镜、显微物镜、面阵探测器以及可实...
- 张霖白金玺石振东马骅杨一马可刘丽佳衡斌任寰柴立群
- 文献传递
- 亚波长超微细减反射结构研究被引量:1
- 2002年
- 当光栅周期小于所使用的波长时,亚微米的表面微结构可以具有减反射作用。西方报导率了理论研究和制作技术,成功地制作了周期为400nm等的超微细结构,测量结果与理论值具有良好的一致性。
- 杨李茗柴立群周礼书杨春林
- 关键词:亚波长光栅刻蚀衍射光学