公共文化服务平台

共 5 条记录，以下是 1-5

全选清除导出

排序方式：

一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法: 一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法。所说的红外抗反射保护膜是在较宽的红外波段具有抗反射效果，同时使镀膜后的光学元件具有耐磨抗蚀的能力。本发明的红外抗反射保护膜，是在ZnSe(1)上制备双层膜，第一层高折射率薄膜(2)...; 黄宁康代海洋陈剑瑄; 文献传递

两种离子束方法制备Cr膜的分析研究: 2007年; 在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的影响等进行分析对比。结果表明,与离子束溅射技术制备的Cr膜相比较,动态离子束混合技术制备的Cr膜表面平滑,膜致密呈无气隙的柱状结构,且薄膜元素与基体元素混合形成的组分过渡层较宽,因而有效地提高了Cr膜的附着力。; 王治安代海洋黄宁康; 关键词：附着力

基体偏压对中频磁控溅射沉积DLC膜结构的影响被引量：1: 2008年; 利用中频非平衡磁控溅射技术，以氩气和甲烷混合气体为工作气体，在载玻片和单品硅片上沉积含氢的类金刚石薄膜。改变加载在基体上的负偏压，在0-400V范围内，制备5种偏压值下的薄膜，研究偏压对薄膜结构的影响。用光学显微镜和AFM考察薄膜的光学形貌；激光Raman谱定性分析膜的化学组分；FTIR分析其C—H键合类型；纳米压痕法测量膜的硬度。结果表明：当基体上施加偏压-100V时，可以有效地提高沉积粒子与基体结合力以及薄膜的致密性，薄膜中正四面体的sp^3结构和sp^3CHn含量增加，纳米硬度提高。; 姜辉代海洋; 关键词：偏压

一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法: 本发明提供了一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法。所说的红外抗反射保护膜是在较宽的红外波段具有抗反射效果，同时使镀膜后的光学元件具有耐磨抗蚀的能力。本发明的红外抗反射保护膜，是在ZnSe(1)上制备双层膜，第一层高折射...; 黄宁康代海洋陈剑瑄; 文献传递

动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜的X射线光电子能谱与俄歇电子能谱研究被引量：2: 2007年; 本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品。对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)和俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,AES)的分析研究。发现Ar+离子束制备的氧化铬薄膜主要是Cr2O3化合物,而O+离子束制备的氧化铬薄膜含有其它价态的铬氧化物。Ar+离子束制备氧化铬薄膜的污染碳少于O+离子束制备。与O+离子束制备相比较,相同能量的Ar+离子束轰击更有利于提高沉积的Cr原子与周围O2的反应性;Ar+离子束制备的氧化铬薄膜过渡层的厚1/3左右,较厚的过渡层显示了制备的薄膜具有较好的附着力。; 代海洋王治安黄宁康; 关键词：X射线光电子能谱俄歇电子能谱

全选清除导出

共1页<1>

代海洋