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司卫华

作品数：23 被引量：15H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 9篇专利
  • 3篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 14篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 17篇纳米
  • 10篇纳米压印
  • 6篇模版
  • 6篇纳米孔
  • 5篇原子
  • 5篇刻蚀
  • 4篇掩模
  • 4篇热压印
  • 4篇紫外
  • 4篇离子刻蚀
  • 4篇光刻
  • 4篇光学
  • 4篇反应离子
  • 4篇反应离子刻蚀
  • 3篇压印
  • 3篇压印光刻
  • 3篇原子束
  • 3篇真空
  • 3篇湿法腐蚀
  • 3篇组件

机构

  • 16篇中国科学院
  • 8篇清华大学
  • 4篇中国科学院研...
  • 1篇大连理工大学
  • 1篇湖南大学

作者

  • 23篇司卫华
  • 15篇董晓文
  • 14篇顾文琪
  • 8篇刘泽文
  • 4篇尹明
  • 3篇秦健
  • 1篇田昊
  • 1篇国石磊

传媒

  • 3篇半导体光电
  • 2篇电子工业专用...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇光电工程
  • 1篇激光与红外
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 2篇2013
  • 3篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 4篇2007
  • 4篇2006
  • 4篇2005
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米级别图形的压印装置
一种纳米级别图形压印装置，其特征在于包括压力控制组件，运动保证可控组件，温度控制组件和吸附组件。压力控制组件位于安装在台架支撑板[6]上的压力导向圆筒[7]的中上部，运动保证控制组件通过花键导向圆筒[13]安装在压力导向...
董晓文顾文琪司卫华
文献传递
一种硅基纳米孔的制作方法
一种硅基纳米孔的制作方法，包括以下步骤：一、在硅衬底上覆盖有保护材料和顶层保护材料，用微细加工技术将需要在硅衬底上刻蚀出的图形加工到两层保护材料上，图形的深度到达硅衬底的表面；二、在硅衬底的表面运用深反应离子刻蚀DRIE...
司卫华刘泽文
纳米压印光刻技术及其设备研制
本文介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战.介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上的压印实验结果和试验装置.
董晓文司卫华顾文琪
关键词：纳米压印光刻技术热压印模版
文献传递
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
文献传递
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
一种利用原子束和纳米孔进行微小尺寸图形制作的方法
一种利用原子束和纳米孔进行微小尺寸图形制作的方法，包括以下步骤：一、用微细加工技术，采用干法刻蚀和湿法刻蚀相结合的方法，制作出阵列纳米孔结构，形成阵列纳米孔掩模；二、以原子为工作粒子进行原子刻蚀或者原子沉积加工；三、根据...
刘泽文司卫华尹明
文献传递
一种高密度的硅基纳米孔的制作方法
一种高密度的硅基纳米孔的制作方法，先在硅衬底的正面覆盖第二保护材料，在硅衬底的背面覆盖第一保护材料，将需要在硅衬底上刻蚀出的图形加工到第一保护材料、第二保护材料上，图形的深度到达硅衬底的表面，然后在硅衬底的背面运用深反应...
司卫华刘泽文尹明
文献传递
纳米压印光刻技术及其设备研制
2005年
介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战.介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上的压印实验结果和试验装置.
董晓文司卫华顾文琪
关键词：纳米压印热压印模版
纳米级别图形的压印制造方法及其装置
一种纳米级别图形的压印制造方法，其特征在于利用吸盘吸附的方式提高了模版和待压印物的硬度，同时利用吸盘的预压使压印时压力分布均匀。在装卡模版和待压印物时，可利用光学传感器对模版和待压印物进行对准。应用本发明方法的装置包括保...
董晓文顾文琪司卫华
文献传递
纳米压印工艺技术研究
纳米压印技术是一种全新的纳米结构制备技术，具有分辨率高、效率高、成本低的优点，它为半导体器件制作提供了一个新的解决方案。随着半导体业朝着不断缩小特征尺寸方向发展，随之而来的技术进步导致了设备的成本以指数增长。由于成本的增...
司卫华
关键词：纳米压印光刻工艺半导体器件燃料电池导流板
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