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李文英
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
供职机构:
上海交通大学材料科学与工程学院
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
张柯
国家工程研究中心
钟建
国家工程研究中心
尹桂林
国家工程研究中心
何丹农
国家工程研究中心
汪元元
国家工程研究中心
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透明导电薄膜
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退火
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CU
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CU/ZN
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O
机构
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上海交通大学
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国家工程研究...
作者
1篇
汪元元
1篇
何丹农
1篇
尹桂林
1篇
钟建
1篇
李文英
1篇
张柯
传媒
1篇
材料工程
年份
1篇
2015
共
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退火对ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜性能的影响
被引量:9
2015年
室温下利用磁控溅射制备了ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜,采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了薄膜的结构、形貌、电学及光学等性能与退火温度之间的关系。结果表明:退火前后薄膜均具有ZnO(002)择优取向,随着退火温度的升高,薄膜的晶化程度、晶粒粒径及粗糙度增加,薄膜电阻率先降低后升高,光学透过率和禁带宽度先升高后降低。150℃下真空退火的ZnO/Cu/ZnO薄膜的性能最佳,最高可见光透光率为90.5%,电阻率为1.28×10-4Ω·cm,载流子浓度为4.10×1021cm-3。
李文英
钟建
张柯
汪元元
尹桂林
何丹农
关键词:
退火
ZNO
CU
透明导电薄膜
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