满欣
- 作品数：17 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 双轴石英角速度传感器芯片
- 本发明公开了一种双轴石英角速度传感器芯片，包括均沿Y向设置的两平行的驱动梁、两平行的Y轴检测梁、Z轴检测梁和连接梁，连接梁两端与两驱动梁和两Y轴检测梁连接形成H形结构，Z轴检测梁一端与连接梁中部固接并与Y轴检测梁位于同一...
- 林丙涛朱振忠李文蕴蒋昭兴满欣赵建华
- 一体式晶体掩膜
- 本实用新型公开一种一体式晶体掩膜，包括位于基片上的石英晶体振荡器芯片结构，以及与所述石英晶体振荡器芯片结构同基片，且与所述石英晶体振荡器芯片结构同时制作成形的晶体掩膜。本实用新型公开的一体式晶体掩膜，实现了振荡器芯片的一...
- 李文蕴林日乐林丙涛董宏奎谢佳维满欣
- 文献传递
- 石英MEMS陀螺
- 石英微机电系统(MEMS)陀螺是一种微型惯性器件。介绍了石英MEMS陀螺的工作原理及敏感芯片的几种典型结构形式,石英MEMS陀螺敏感芯片一般采用一体式音叉结构,有多种结构形式,不同的芯片结构形式性能指标和体积不同,可应用...
- 林日乐满欣周倩李文蕴谢佳维张巧云
- 关键词：石英陀螺音叉
- 文献传递
- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
- 2013年
- 石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能。通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10 000g,并保持了较好的性能。
- 林日乐李文蕴赵建华周倩满欣谢佳维
- 关键词：石英微机械陀螺
- 一种集成式橡胶减振器
- 一种集成式橡胶减振器，包括法兰，该法兰的中部设置有中心孔，在该中心孔内设置有连接块，在该中心孔内还设置有位于所述法兰和连接块之间，用于连接所述法兰和连接块的减振橡胶体，所述连接块的中部设置有用于安装元件的安装孔，法兰的中...
- 谢佳维满欣林日乐
- 文献传递
- 闭环控制式加速度计
- 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
- 林丙涛赵建华林日乐张巧云董宏奎翁邦英徐洲李文蕴谢佳维满欣周倩
- 文献传递
- 石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进被引量：2
- 2015年
- 石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力。
- 李文蕴林日乐满欣
- 关键词：陀螺有限元
- 一种双轴石英角速度传感器芯片
- 本实用新型公开了一种双轴石英角速度传感器芯片，包括均沿Y向设置的两平行的驱动梁、两平行的Y轴检测梁、Z轴检测梁和连接梁，连接梁两端与两驱动梁和两Y轴检测梁连接形成H形结构，Z轴检测梁一端与连接梁中部固接并与Y轴检测梁位于...
- 林丙涛朱振忠李文蕴蒋昭兴满欣赵建华
- 文献传递
- 石英微机电陀螺的机械耦合误差研究被引量：4
- 2018年
- 石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实验结果表明,通过改进设计,有效抑制了敏感芯片机械耦合误差,提高了陀螺的精度及环境适应性。
- 林日乐李文蕴张桐谢佳维蒋昭兴满欣江黎
- 关键词：石英机械耦合误差
