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张志坚
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3
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供职机构:
山东建筑大学材料科学与工程学院
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发文基金:
山东省科技发展计划项目
山东省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
马芳
山东建筑大学材料科学与工程学院
刘志宝
山东省化工研究院
马洪芳
教育部
刘文斐
山东建筑大学
孙华
山东建筑大学材料科学与工程学院
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教育部
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山东省化工研...
作者
3篇
马洪芳
3篇
刘志宝
3篇
马芳
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张志坚
2篇
刘文斐
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孙华
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三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法
本发明涉及一种透明导电薄膜的制备方法,特别涉及一种三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法。其目的在于提供一种通过Al、N、F三元素共掺,以减少ZnO基透明导电薄膜中的缺陷,增加载流子浓度,从而获得一种具有优良光电性能的新型透明...
马洪芳
刘文斐
刘志宝
马芳
张志坚
文献传递
Sol-gel法制备共掺杂ZnO∶Al/N/F薄膜的性能研究
2014年
采用溶胶.凝胶法在普通载玻片上旋涂制备出Al、N、F三掺杂ZnO薄膜(ZnO:Al/N/F),分别研究溶胶浓度和掺杂浓度对薄膜结构、表面形貌以及光电性能的影响。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、可见分光光度计、双电测四探针电阻率测试仪进行测试与分析。结果表明:制备出的ZnO:Al/N/F薄膜致密均匀,平整光滑,为高结晶质量的(002)C轴择优取向;当溶胶浓度为0.75mol/L、掺杂浓度为O.90at%时,薄膜在可见光范围内(390~780nm)的平均透过率可达87.9%,掺杂浓度为1.05at%时电阻率最小,为O.23Ω·cm。
马洪芳
马芳
刘志宝
孙华
张志坚
王小蕊
关键词:
溶胶-凝胶法
ZNO薄膜
共掺杂
光电性能
三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法
本发明涉及一种透明导电薄膜的制备方法,特别涉及一种三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法。其目的在于提供一种通过Al、N、F三元素共掺,以减少ZnO基透明导电薄膜中的缺陷,增加载流子浓度,从而获得一种具有优良光电性能的新型透明...
马洪芳
刘文斐
刘志宝
马芳
张志坚
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