刘旗
- 作品数：8 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究被引量：1
- 2012年
- 针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器件(CCD)成像系统接收叠栅条纹图像,采用傅里叶变换提取叠栅条纹相位,得到掩模与硅片的相对位置关系。设计的标记可同时探测横纵方向的对准偏差。给出了合理的光路设计方案,详细分析了整个系统对准的内在机制,建立了可行的数学模型。研究表明,当对准偏差小于1pixel时,最大误差低于0.002pixel。与透射式光路对比,该方案更具有实用性,满足实际对准的要求。
- 朱江平胡松于军胜唐燕周绍林刘旗何渝
- 关键词：光栅叠栅条纹
- 一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统
- 本发明公开了一种适用于步进扫描投影光刻机的掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统，包括运动轨迹规划模块、运动控制模块、运动执行模块、同步误差校正模块。本发明的优点是，采用轨迹规划模块对扫描曝光过程中硅片台及掩模台的加速度、...
- 李兰兰胡松赵立新马平刘旗李金龙钟玲娜
- 文献传递
- 一种大行程高速双重驱动纳米定位系统
- 本发明公开了一种大行程高速双重驱动纳米定位系统，该纳米定位系统包括运动轨迹指令系统(101)、主控计算机(102)、PMAC运动控制板卡(103)、伺服运动控制系统(104)、定位平台和测量控制系统(107)，其中，定位...
- 刘旗马平胡松李兰兰盛壮朱江平
- 文献传递
- 一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统
- 本发明公开了一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统，该控制系统通过通讯接口接收主控计算机发送的指令和数据，并按照主机的指令控制工件台进行相应的运动，从而完成实时定位及调焦等过程。其中，工件台定位部分控制工...
- 李兰兰胡松赵立新马平盛壮刘旗李金龙
- 文献传递
- 一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统
- 本发明公开了一种适用于步进扫描投影光刻机的掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统，包括运动轨迹规划模块、运动控制模块、运动执行模块、同步误差校正模块。本发明的优点是，采用轨迹规划模块对扫描曝光过程中硅片台及掩模台的加速度、...
- 李兰兰胡松赵立新马平刘旗李金龙钟玲娜
- 文献传递
- 一种大行程高速双重驱动纳米定位系统
- 本发明公开了一种大行程高速双重驱动纳米定位系统，该纳米定位系统包括运动轨迹指令系统(101)、主控计算机(102)、PMAC运动控制板卡(103)、伺服运动控制系统(104)、定位平台和测量控制系统(107)，其中，定位...
- 刘旗马平胡松李兰兰盛壮朱江平
- 一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置
- 本发明是一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置，采用适用于接近接触式光刻对准的反射式光路系统，该装置包括对准照明系统、半反半透镜、掩模板、掩模光栅标记、硅片光栅标记、硅片、位移工件台、条纹接收系统和计算机，对准照明系统将对...
- 朱江平胡松唐燕刘旗何渝邸成良
- 文献传递
- 一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法被引量：6
- 2012年
- 针对数字投影光刻技术大面积图形曝光的需求,提出了一种基于灰度模板调制的图形拼接方法,包括图形分割、模板设计、子图形灰度调制、子图形曝光4个步骤。图形曝光前,需要将曝光图形分割为多帧大小为1024pixel×768pixel的多个子图形,然后每个子图形与对应模板相乘,实现曝光子图形的预处理。基于数字微镜(DMD)对灰度图形的调制原理,设计了可行的边界灰度调制模板。给出了图形分割的基本方法以及模板设计的原则。计算机仿真实验展示了图形拼接的过程。实验结果表明,该方法能较好地解决大面积图形曝光存在的拼接问题,改善了图形刻蚀的质量。
- 朱江平胡松于军胜陈铭勇何渝刘旗
- 关键词：图像处理无掩模光刻数字微镜
