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沈念

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇曲面
  • 2篇曲面特征
  • 2篇微结构
  • 2篇交联
  • 2篇交联反应
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇光刻胶
  • 2篇SU-8
  • 1篇亚胺
  • 1篇柔性微电极
  • 1篇黏附性
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇微针
  • 1篇金属互连
  • 1篇金属互连线
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇刻蚀
  • 1篇互连
  • 1篇互连线

机构

  • 3篇中国科学院
  • 2篇上海交通大学
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 4篇沈念
  • 3篇赵建龙
  • 3篇李刚
  • 2篇陈强
  • 1篇孙晓娜
  • 1篇任秋实
  • 1篇周洪波
  • 1篇朱琳
  • 1篇隋晓红
  • 1篇柴新禹
  • 1篇周亮
  • 1篇朱壮晖

传媒

  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于MEMS工艺的硅微针表面涂覆加工方法
一种基于MEMS工艺的硅微针表面涂覆加工方法，采用化学气相淀积方法在硅片的抛光面生长底层SiO<Sub>2</Sub>用于电隔离金属合金层与硅衬底；在底层SiO<Sub>2</Sub>上依次溅射钛元素和金元素以形成金属合...
隋晓红柴新禹任秋实沈念
文献传递
基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法
本发明公开了一种基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法，其特征在于所述的方法以聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)压模技术结合未交联SU-8光刻胶的回流特性制作具有圆滑曲面特征...
李刚陈强沈念赵建龙
文献传递
聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化
2010年
对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了微电极稳定性,使之适于长期植入.优化后微电极的电极金属层牢固且具有较低的界面阻抗(43kΩ),比处理前降低了25.4%,误差减小了约4/5,具有良好的实用性.
朱壮晖周亮周洪波李刚孙晓娜沈念朱琳赵建龙
关键词：柔性微电极黏附性聚酰亚胺
基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法
本发明公开了一种基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法，其特征在于所述的方法以聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)压模技术结合未交联SU-8光刻胶的回流特性制作具有圆滑曲面特征...
李刚陈强沈念赵建龙
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